사용자 정의 가능한 다항 스테인리스 스틸 진공실 304 316L OEM CF ISO KF 포트 산업 코팅

이 맞춤형 다중 포트 스테인리스 스틸 진공 챔버는 유연한 진공 포트 구성을 요구하는 산업 코팅, 박막 증착 및 재료 처리 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 고품질 304 또는 316L 스테인리스 스틸로 제작된 챔버 본체는 CF, ISO 및 KF 연결을 포함한 여러 플랜지 유형을 수용하여 시스템 통합업체가 특정 공정 요구 사항에 따라 펌핑 포트, 피드스루 액세스 및 계측 인터페이스를 구성할 수 있습니다. 각 챔버는 헬륨 누출 테스트를 거쳐 진공 무결성을 확인하며, 모든 용접 조인트는 일관되고 고강도 실링을 위해 아르곤 아크 용접을 사용하여 제작됩니다. 완전히 맞춤화된 OEM 솔루션으로 제공되는 이 진공 인클로저는 PVD 코팅 시스템부터 연구 규모의 진공 실험에 이르기까지 다양한 산업 워크플로우에 적용됩니다.

• 다중 포트 유연성: 챔버 본체는 여러 면에 걸쳐 CF, ISO 및 KF 플랜지를 동시에 통합할 수 있어 구조적 무결성을 손상시키지 않으면서 펌프, 게이지, 밸브 및 전기 피드스루에 대한 맞춤형 레이아웃을 가능하게 합니다.
• 프리미엄 스테인리스 스틸 구조: 저탄소 함량의 304 또는 316L 등급 스테인리스 스틸로 제작되어 공정 가스에 대한 우수한 내식성과 깨끗한 진공 환경을 위한 최소한의 탈기성을 제공합니다.
• 정밀 아르곤 아크 용접: 모든 이음매와 플랜지-본체 조인트는 아르곤 아크 용접 기술을 사용하여 깊은 침투, 오염 없는 용접을 생성하며, 가상 누출 형성을 방지하는 부드러운 내부 비드 프로파일을 갖습니다.
• 헬륨 누출 테스트: 모든 챔버는 1x10^-10 Pa·m³/s까지의 감도를 가진 헬륨 질량 분광기 누출 감지 테스트를 거쳐 거친 진공에서 고진공 수준까지 전체 작동 압력 범위에서 누출 방지 성능을 보장합니다.
• 완전한 OEM 맞춤화: 챔버 치수, 포트 위치, 플랜지 크기, 뷰포트 컷아웃 및 내부 고정 장치는 고객 엔지니어링 도면에 따라 지정할 수 있으며, 사내 가공 및 용접 기능을 통해 신속한 프로토타입-생산 전환이 가능합니다.
• 표면 처리 옵션: 표준 유리 비드 블라스팅은 균일한 무광택 마감을 제공하며, 선택 사항인 전해 연마는 탈기를 줄이고 펌프 다운 주기를 가속화하여 더 까다로운 진공 응용 분야에 적합한 거울처럼 매끄러운 내부 표면을 제공합니다.
• 구조적 보강: 외부 리브와 거싯 플레이트는 대형 챔버 본체에 전략적으로 배치되어 진공 하에서의 변형을 방지하고 반복적인 열 및 압력 주기 동안 치수 안정성과 플랜지 정렬을 유지합니다.

이 다중 포트 진공 챔버는 산업용 물리 기상 증착 (PVD) 및 화학 기상 증착 (CVD) 코팅 시스템의 핵심 공정 용기로 사용되며, 여러 마그네트론 스퍼터링 소스, 기판 히터 및 광학 모니터링 포트를 수용하기 위해 유연한 포트 할당이 중요합니다. 박막 연구 실험실에서는 구성 가능한 플랜지 레이아웃이 챔버 교체 없이 실험 설정을 신속하게 재구성할 수 있도록 지원합니다. 또한 이 챔버는 변압기 오일 정제를 위한 진공 탈기 스테이션, 제약 동결 건조를 위한 진공 건조 시스템 및 부품 탈기 테스트를 위한 우주 시뮬레이션 챔버에 통합됩니다. 추가 응용 분야에는 플라즈마 에칭 시스템, 이온 빔 처리 스테이션 및 다중 액세스 진공 인클로저가 생산 워크플로우의 백본을 형성하는 진공 브레이징 용로가 포함됩니다.

각 진공 챔버는 세척, 건조 질소 퍼지, 보호 플랜지 커버로 밀봉된 후 충격 흡수 폼 인서트가 있는 맞춤형 목재 상자에 포장됩니다. 챔버는 헬륨 누출 테스트 인증서, 재료 밀 테스트 보고서 및 치수 검사 기록과 함께 배송됩니다. 모든 SYNVAC 진공 챔버는 재료 및 제작 결함을 포괄하는 종합 보증이 제공되며, 시스템 통합 안내, 포트 레이아웃 최적화 및 설치 후 성능 검증을 위한 기술 엔지니어링 지원을 받을 수 있습니다.