Phòng chân không thép không gỉ đa cổng tùy biến 304 316L OEM CF ISO KF Cổng cho lớp phủ công nghiệp

Căn phòng chân không bằng thép không gỉ có nhiều cổng có thể tùy chỉnh này được thiết kế cho lớp phủ công nghiệp, lắng đọng phim mỏng,và các ứng dụng xử lý vật liệu đòi hỏi cấu hình cổng chân không linh hoạtĐược sản xuất từ thép không gỉ 304 hoặc 316L chất lượng cao, thân khoang chứa nhiều loại vòm bao gồm kết nối CF, ISO và KF,cho phép các nhà tích hợp hệ thống cấu hình các cổng bơmMỗi buồng được thử nghiệm rò rỉ helium để xác minh tính toàn vẹn chân không,với tất cả các khớp hàn được sản xuất bằng cách hàn cung argon để có kết quả nhất quánCó sẵn như một giải pháp hoàn toàn tùy chỉnh OEM, thùng chân không này thích nghi với các luồng công việc công nghiệp đa dạng từ các hệ thống sơn PVD đến các thí nghiệm chân không quy mô nghiên cứu.

• Độ linh hoạt đa cổng:Cơ thể buồng hỗ trợ tích hợp đồng thời của CF, ISO và KF flanges trên nhiều mặt, cho phép bố trí phù hợp cho máy bơm, thước đo, van,và nguồn cung cấp điện mà không ảnh hưởng đến tính toàn vẹn cấu trúc.
• Xây dựng thép không gỉ cao cấp:Được sản xuất từ thép không gỉ loại 304 hoặc 316L với hàm lượng carbon thấp, cung cấp khả năng chống ăn mòn tuyệt vời đối với khí quá trình và khí thải tối thiểu cho môi trường chân không sạch.
• Ống hàn cung argon chính xác:Tất cả các đường may và các khớp sợi vít sử dụng các kỹ thuật hàn cung argon để sản xuất hàn xuyên sâu, không bị ô nhiễm với hồ sơ hạt bên trong mịn mà chống lại sự hình thành rò rỉ ảo.
• Kiểm tra rò rỉ helium:Mỗi buồng được trải qua phát hiện rò rỉ phổ khối lượng helium với độ nhạy xuống đến 1x10^{- 10}Bàn tay³/s, đảm bảo hiệu suất không rò rỉ trên toàn bộ phạm vi áp suất hoạt động từ chân không thô đến mức chân không cao.
• Tùy chỉnh OEM đầy đủ:Kích thước khoang, vị trí cổng, kích thước miếng kẹp, cắt khung ngắm và vật cố định bên trong đều có thể được xác định theo bản vẽ kỹ thuật của khách hàng,với khả năng gia công và hàn nội bộ cho phép chuyển đổi nhanh chóng từ nguyên mẫu sang sản xuất.
• Các tùy chọn xử lý bề mặt:Tiêu chuẩn thủy tinh hạt blasting cung cấp một kết thúc mờ đồng nhất,trong khi điện lọc tùy chọn cung cấp một bề mặt bên trong mịn như gương làm giảm khí thải và tăng tốc chu kỳ bơm xuống cho các ứng dụng chân không đòi hỏi nhiều hơn.
• Tăng cường cấu trúc:Các tấm sườn bên ngoài và tấm gusset được đặt chiến lược trên các cơ thể buồng lớn hơn để ngăn ngừa lệch dưới chân không,duy trì sự ổn định kích thước và sự sắp xếp vòm trong suốt các chu kỳ nhiệt và áp suất lặp đi lặp lại.

Phòng chân không đa cổng này phục vụ như là thùng quy trình cốt lõi cho các hệ thống lớp phủ lắng đọng hơi vật lý công nghiệp (PVD) và lắng đọng hơi hóa học (CVD),nơi phân bổ cổng linh hoạt là rất quan trọng để chứa nhiều nguồn phun magnetronTrong các phòng thí nghiệm nghiên cứu màng mỏng,bố trí miếng kẹp có thể cấu hình hỗ trợ cấu hình lại nhanh chóng của các thiết lập thử nghiệm mà không cần thay đổi buồngPhòng cũng tích hợp vào các trạm khử khí chân không để lọc dầu biến áp, hệ thống sấy chân không cho lyophilization dược phẩm,và các buồng mô phỏng không gian để thử nghiệm khí thải thành phầnCác lĩnh vực ứng dụng bổ sung bao gồm hệ thống khắc plasma, trạm xử lý chùm ion và lò hàn chân không, nơi các vỏ chân không đa truy cập tạo thành xương sống của quy trình sản xuất.

Mỗi buồng chân không được làm sạch, được thanh lọc bằng nitơ khô, và được niêm phong bằng nắp miếng bảo vệ trước khi được đóng gói trong các thùng gỗ được trang bị tùy chỉnh với các nhựa bọt hấp thụ xung.Các buồng được vận chuyển với chứng chỉ kiểm tra rò rỉ heliumTất cả các buồng chân không SYNVAC được hỗ trợ bởi một bảo hành toàn diện bao gồm các khiếm khuyết vật liệu và chế tạo,với hỗ trợ kỹ thuật kỹ thuật có sẵn cho hướng dẫn tích hợp hệ thống, tối ưu hóa bố cục cổng và xác nhận hiệu suất sau khi cài đặt.