ห้องสุญญากาศสแตนเลสแบบปรับแต่งได้หลายพอร์ต 304 316L OEM CF ISO KF Ports สำหรับการเคลือบอุตสาหกรรม

ห้องสูญเสียสแตนเลสหลายประตูที่สามารถปรับแต่งได้นี้ ถูกออกแบบมาเพื่อการเคลือบอุตสาหกรรมและการใช้งานในการแปรรูปวัสดุที่ต้องการการปรับปรุงช่องว่างแบบยืดหยุ่นผลิตจากสแตนเลส 304 หรือ 316L คุณภาพสูง ร่างห้องรองรับหลายชนิดของ flange รวมถึง CF, ISO, และการเชื่อมต่อ KFทําให้ผู้บูรณาการระบบสามารถตั้งค่าจุดสูบ, การเข้าถึง feedthrough และอินเตอร์เฟซเครื่องมือตามความต้องการของกระบวนการเฉพาะเจาะจง ทุกห้องได้รับการทดสอบการรั่วไหลของเฮลิอุมเพื่อตรวจสอบความสมบูรณ์แบบของความว่างที่มีสานผ่าทั้งหมดผลิตโดยใช้การผ่า arc argon เพื่อให้มีความสม่ําเสมอมีให้บริการเป็นคําตอบ OEM ที่กําหนดเองโดยสมบูรณ์แบบ ห้องสูบสูบนี้ปรับตัวให้กับกระบวนการทํางานอุตสาหกรรมที่หลากหลาย ตั้งแต่ระบบเคลือบ PVD ไปยังการทดลองสูบสูบในขนาดวิจัย.

• ความยืดหยุ่นหลายประตู:ร่างห้องรองรับการบูรณาการพร้อมกันของ CF, ISO, และ KF flanges ทั่วหน้าหลาย, ทําให้การวางแผนที่กําหนดเองสําหรับปั๊ม, กวัด, วาล์ว,และไฟฟ้า feedthroughs โดยไม่เสี่ยงความสมบูรณ์แบบโครงสร้าง.
• โครงสร้างจากสแตนเลสระดับพรีเมียมผลิตจากสแตนเลสประเภท 304 หรือ 316L ที่มีคาร์บอนต่ํา ส่งผลให้มีความทนทานต่อการกัดกร่อนที่ดีต่อก๊าซกระบวนการและการออกก๊าซน้อยที่สุดสําหรับสภาพแวดล้อมว่างที่สะอาด
• การปั่นอาร์กอนอาร์คความแม่นยําการผสมผสานทั้งหมดและสานฟลันจ์กับร่างกายใช้เทคนิคการผสมผสานอาร์กอนเพื่อผลิตผสมผสานที่ผ่านลึกและไม่ติดเชื้อที่มีโปรไฟล์ขีดภายในเรียบ ๆ ที่ต้านทานการเกิดการรั่ว virtual
• การทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม:ทุกห้องถูกนําไปตรวจพบการรั่วไหลของเฮลียูมัสสเปคตรอมเตอร์ ด้วยความรู้สึกต่ําสุด 1x10^{- 10}ปา³/s, รับประกันผลประกอบการกันรั่วผ่านช่วงความดันการทํางานทั้งหมดจากระดับความว่างที่ค่อนข้างรุนแรง
• การปรับแต่ง OEM ครบถ้วนขนาดห้อง, สถานที่จุดติด, ขนาด flange, การตัด viewport, และการติดตั้งภายในทั้งหมดสามารถกําหนดตามภาพวาดวิศวกรรมของลูกค้า,ด้วยความสามารถในการแปรรูปและปั่นภายในโรงงาน ทําให้สามารถเปลี่ยนแบบต้นแบบเป็นการผลิตอย่างรวดเร็ว.
• ตัวเลือกการบําบัดผิว:การพัดกระจกกระจกกระจกแบบมาตรฐาน จะให้ผลงานแบบเรียบเนียนขณะที่การเคลือบไฟฟ้าแบบเลือกจะให้พื้นผิวภายในเรียบเนียนเหมือนกระจก ซึ่งลดการออกแก๊สและเร่งวงจรปั๊มลงสําหรับการใช้งานระยะว่างที่ต้องการมากขึ้น.
• การเสริมสร้างโครงสร้างป้ายปีกภายนอกและแผ่นกัสเซ็ตถูกวางไว้ในตําแหน่งที่ยุทธศาสตร์บนร่างห้องใหญ่ เพื่อป้องกันการบิดเบี้ยวภายใต้ระยะว่างการรักษาความมั่นคงของมิติและการจัดสรร flange ตลอดวงจรความร้อนและความดันซ้ํา.

ห้องว่างหลายประตูนี้เป็นภาชนะกระบวนการหลักสําหรับระบบเคลือบฝุ่นภาวะกายภาพอุตสาหกรรม (PVD) และระบบเคลือบฝุ่นภาวะเคมี (CVD)ในกรณีที่การจัดสรรท่าเรือแบบยืดหยุ่นเป็นสิ่งสําคัญในการรองรับแหล่งการพ่นแม็กเนตรอนหลายแห่งในห้องปฏิบัติการวิจัยแผ่นบางการจัดวาง flange ที่สามารถตั้งค่าได้ รองรับการตั้งค่าใหม่อย่างรวดเร็วของการตั้งค่าการทดลองโดยไม่จําเป็นต้องเปลี่ยนห้องห้องยังสามารถบูรณาการกับสถานีถอนก๊าซระยะว่างสําหรับการทําความสะอาดน้ํามันแปลง ระบบแห้งระยะว่างสําหรับ lyophilization ยาและห้องจําลองอวกาศสําหรับการทดสอบการออกแก๊สขององค์ประกอบพื้นที่การใช้งานเพิ่มเติมรวมถึงระบบถักพลาสมา, สถานีการประมวลผลรังไอออน และเตาอบหมัดระบายความว่างที่ห้องว่างหลายทางเข้าเป็นกระดูกสันหลังของกระบวนการผลิต.

ห้องสูญเสียแต่ละห้องถูกทําความสะอาด, ถูกล้างด้วยไนโตรเจนแห้ง, และปิดปิดด้วยฝาปิดป้ายป้องกัน ก่อนจะบรรจุในกล่องไม้ที่ติดตั้งตามความต้องการห้องถูกส่งพร้อมกับใบรับรองการทดสอบการรั่วไหลของเฮลียู, รายงานการทดสอบโรงงานวัสดุและบันทึกการตรวจสอบมิติ ทุกห้องสูบ SYNVAC ได้รับการสนับสนุนโดยการรับประกันครบวงจรครอบคลุมอุปกรณ์และความบกพร่องการผลิตมีการสนับสนุนทางวิศวกรรมทางเทคนิคในการแนะนําการบูรณาการระบบ, การปรับปรุงการวางแผนท่าเรือ และการรับรองผลการทํางานหลังการติดตั้ง