Ruang Vakum Stainless Steel Multi-Port yang Dapat Disesuaikan 304 316L Port OEM CF ISO KF untuk Pelapisan Industri

Kamar vakum stainless steel multi-port yang dapat disesuaikan ini direkayasa untuk aplikasi pelapisan industri, deposisi film tipis, dan pemrosesan material yang menuntut konfigurasi port vakum yang fleksibel. Dibuat dari baja tahan karat kelas 304 atau 316L, badan kamar mengakomodasi berbagai jenis flensa termasuk koneksi CF, ISO, dan KF, memungkinkan integrator sistem untuk mengkonfigurasi port pemompaan, akses feedthrough, dan antarmuka instrumentasi sesuai dengan persyaratan proses tertentu. Setiap kamar menjalani pengujian kebocoran helium untuk memverifikasi integritas vakum, dengan semua sambungan las diproduksi menggunakan pengelasan busur argon untuk segel yang konsisten dan berkekuatan tinggi. Tersedia sebagai solusi OEM yang sepenuhnya disesuaikan, selungkup vakum ini beradaptasi dengan berbagai alur kerja industri mulai dari sistem pelapisan PVD hingga eksperimen vakum skala penelitian.

• Fleksibilitas Multi-Port: Badan kamar mendukung integrasi simultan flensa CF, ISO, dan KF di berbagai sisi, memungkinkan tata letak yang disesuaikan untuk pompa, pengukur, katup, dan feedthrough listrik tanpa mengorbankan integritas struktural.
• Konstruksi Stainless Steel Premium: Dibuat dari baja tahan karat kelas 304 atau 316L dengan kandungan karbon rendah, memberikan ketahanan korosi yang sangat baik terhadap gas proses dan outgassing minimal untuk lingkungan vakum yang bersih.
• Pengelasan Busur Argon Presisi: Semua sambungan dan sambungan flensa-ke-badan menggunakan teknik pengelasan busur argon untuk menghasilkan lasan penetrasi dalam yang bebas kontaminasi dengan profil manik-manik internal yang halus yang tahan terhadap pembentukan kebocoran virtual.
• Diuji Kebocoran Helium: Setiap kamar dikenakan deteksi kebocoran spektrometer massa helium dengan sensitivitas hingga 1x10^-10 Pa·m³/s, memastikan kinerja kedap bocor di seluruh rentang tekanan operasi penuh dari vakum kasar hingga tingkat vakum tinggi.
• Kustomisasi OEM Penuh: Dimensi kamar, lokasi port, ukuran flensa, potongan viewport, dan perlengkapan internal semuanya dapat ditentukan sesuai dengan gambar teknik pelanggan, dengan kemampuan pemesinan dan pengelasan internal memungkinkan prototipe-ke-produksi yang cepat.
• Opsi Perawatan Permukaan: Peledakan manik-manik kaca standar memberikan hasil akhir matte yang seragam, sementara elektropolishing opsional memberikan permukaan interior yang halus seperti cermin yang mengurangi outgassing dan mempercepat siklus pemompaan untuk aplikasi vakum yang lebih menuntut.
• Penguatan Struktural: Rusuk eksternal dan pelat gusset diposisikan secara strategis pada badan kamar yang lebih besar untuk mencegah defleksi di bawah vakum, menjaga stabilitas dimensi dan keselarasan flensa di seluruh siklus termal dan tekanan berulang.

Kamar vakum multi-port ini berfungsi sebagai bejana proses inti untuk sistem pelapisan deposisi uap fisik (PVD) dan deposisi uap kimia (CVD) industri, di mana alokasi port yang fleksibel sangat penting untuk mengakomodasi beberapa sumber sputtering magnetron, pemanas substrat, dan port pemantauan optik. Di laboratorium penelitian film tipis, tata letak flensa yang dapat dikonfigurasi mendukung konfigurasi ulang cepat pengaturan eksperimental tanpa memerlukan penggantian kamar. Kamar ini juga terintegrasi ke dalam stasiun degassing vakum untuk pemurnian minyak transformator, sistem pengeringan vakum untuk liofilisasi farmasi, dan ruang simulasi luar angkasa untuk pengujian outgassing komponen. Area aplikasi tambahan termasuk sistem etsa plasma, stasiun pemrosesan berkas ion, dan tungku brazing vakum di mana selungkup vakum multi-akses membentuk tulang punggung alur kerja produksi.

Setiap kamar vakum dibersihkan, dialiri nitrogen kering, dan disegel dengan penutup flensa pelindung sebelum dikemas dalam peti kayu yang dipasang khusus dengan sisipan busa penyerap guncangan. Kamar dikirimkan dengan sertifikat uji kebocoran helium, laporan uji mil bahan, dan catatan inspeksi dimensi. Semua kamar vakum SYNVAC didukung oleh garansi komprehensif yang mencakup cacat material dan pengerjaan, dengan dukungan teknik teknis yang tersedia untuk panduan integrasi sistem, optimalisasi tata letak port, dan validasi kinerja pasca-instalasi.