Προσαρμόσιμες πολυεπιφάνειες κενού από ανοξείδωτο χάλυβα 304 316L OEM CF ISO KF Ports για βιομηχανική επικάλυψη

Αυτός ο προσαρμόσιμος θάλαμος κενού από ανοξείδωτο χάλυβα πολλαπλών θυρών έχει σχεδιαστεί για εφαρμογές βιομηχανικής επικάλυψης, εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης και επεξεργασίας υλικών που απαιτούν ευέλικτες διαμορφώσεις θυρών κενού. Κατασκευασμένο από υψηλής ποιότητας ανοξείδωτο χάλυβα 304 ή 316L, το σώμα του θαλάμου διαθέτει πολλαπλούς τύπους φλάντζας, συμπεριλαμβανομένων συνδέσεων CF, ISO και KF, επιτρέποντας στους ολοκληρωμένους συστήματος να διαμορφώνουν τις θύρες άντλησης, την πρόσβαση μέσω τροφοδοσίας και τις διεπαφές οργάνων σύμφωνα με συγκεκριμένες απαιτήσεις διαδικασίας. Κάθε θάλαμος υποβάλλεται σε δοκιμή διαρροής ηλίου για την επαλήθευση της ακεραιότητας του κενού, με όλες τις συγκολλημένες ενώσεις να παράγονται με συγκόλληση τόξου αργού για σταθερές, υψηλής αντοχής σφραγίσεις. Διαθέσιμο ως πλήρως προσαρμοσμένη λύση OEM, αυτό το περίβλημα κενού προσαρμόζεται σε διάφορες βιομηχανικές ροές εργασίας που κυμαίνονται από συστήματα επίστρωσης PVD έως πειράματα κενού ερευνητικής κλίμακας.

• Ευελιξία πολλαπλών θυρών:Το σώμα του θαλάμου υποστηρίζει την ταυτόχρονη ενσωμάτωση φλάντζες CF, ISO και KF σε πολλές επιφάνειες, επιτρέποντας προσαρμοσμένες διατάξεις για αντλίες, μετρητές, βαλβίδες και ηλεκτρικές διοχετεύσεις χωρίς να διακυβεύεται η δομική ακεραιότητα.
• Premium κατασκευή από ανοξείδωτο χάλυβα:Κατασκευασμένο από ανοξείδωτο χάλυβα ποιότητας 304 ή 316L με χαμηλή περιεκτικότητα σε άνθρακα, παρέχοντας εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση στα αέρια διεργασίας και ελάχιστη απαέρωση για καθαρά περιβάλλοντα κενού.
• Συγκόλληση με τόξο αργού ακριβείας:Όλες οι ραφές και οι αρμοί φλάντζας προς σώμα χρησιμοποιούν τεχνικές συγκόλλησης με τόξο αργού για την παραγωγή συγκολλήσεων βαθιάς διείσδυσης, χωρίς μόλυνση με λεία εσωτερικά προφίλ σφαιριδίων που αντιστέκονται στον σχηματισμό εικονικής διαρροής.
• Δοκιμασμένη διαρροή ηλίου:Κάθε θάλαμος υποβάλλεται σε ανίχνευση διαρροής με φασματόμετρο μάζας ηλίου με ευαισθησία έως 1x10^-10Pa·m³/s, εξασφαλίζοντας στεγανή απόδοση σε όλο το εύρος της πίεσης λειτουργίας από το τραχύ κενό έως τα υψηλά επίπεδα κενού.
• Πλήρης προσαρμογή OEM:Οι διαστάσεις του θαλάμου, οι θέσεις των θυρών, τα μεγέθη φλάντζας, οι εγκοπές θυρών προβολής και η εσωτερική στερέωση μπορούν όλα να καθοριστούν σύμφωνα με τα μηχανολογικά σχέδια του πελάτη, με τις δυνατότητες εσωτερικής μηχανικής κατεργασίας και συγκόλλησης που επιτρέπουν την ταχεία ανάκαμψη του πρωτοτύπου στην παραγωγή.
• Επιλογές επιφανειακής επεξεργασίας:Η τυπική ανατίναξη γυάλινων σφαιριδίων παρέχει ένα ομοιόμορφο ματ φινίρισμα, ενώ η προαιρετική ηλεκτροστίλβωση προσφέρει μια λεία εσωτερική επιφάνεια που μειώνει την εξάτμιση αερίων και επιταχύνει τους κύκλους εκκένωσης για πιο απαιτητικές εφαρμογές κενού.
• Δομική Ενίσχυση:Οι εξωτερικές ραβδώσεις και οι πλάκες στεφάνης είναι στρατηγικά τοποθετημένες σε μεγαλύτερα σώματα θαλάμων για να αποτρέπεται η παραμόρφωση υπό κενό, διατηρώντας τη σταθερότητα των διαστάσεων και την ευθυγράμμιση της φλάντζας σε επαναλαμβανόμενους κύκλους θερμότητας και πίεσης.

Αυτός ο θάλαμος κενού πολλαπλών θυρών χρησιμεύει ως το δοχείο διεργασίας πυρήνα για συστήματα βιομηχανικής φυσικής εναπόθεσης ατμού (PVD) και χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), όπου η ευέλικτη κατανομή θυρών είναι κρίσιμη για την υποδοχή πολλαπλών πηγών ψεκασμού μαγνητρονίων, θερμαντικών υποστρωμάτων και θυρών οπτικής παρακολούθησης. Σε ερευνητικά εργαστήρια λεπτής μεμβράνης, η διαμορφώσιμη διάταξη φλάντζας υποστηρίζει γρήγορη επαναδιαμόρφωση των πειραματικών ρυθμίσεων χωρίς να απαιτείται αντικατάσταση θαλάμου. Ο θάλαμος ενσωματώνεται επίσης σε σταθμούς απαέρωσης κενού για καθαρισμό λαδιού μετασχηματιστή, συστήματα ξήρανσης κενού για φαρμακευτική λυοφιλοποίηση και θαλάμους προσομοίωσης χώρου για δοκιμές εξαγωγής αερίων εξαρτημάτων. Οι πρόσθετοι τομείς εφαρμογής περιλαμβάνουν συστήματα χάραξης πλάσματος, σταθμούς επεξεργασίας δέσμης ιόντων και φούρνους συγκόλλησης κενού όπου τα περιβλήματα κενού πολλαπλής πρόσβασης αποτελούν τη ραχοκοκαλιά των ροών εργασιών παραγωγής.

Κάθε θάλαμος κενού καθαρίζεται, καθαρίζεται με ξηρό άζωτο και σφραγίζεται με προστατευτικά καλύμματα φλάντζας πριν συσκευαστεί σε ειδικά προσαρμοσμένα ξύλινα κιβώτια με ένθετα αφρού που απορροφούν τους κραδασμούς. Οι θάλαμοι αποστέλλονται με πιστοποιητικά δοκιμής διαρροής ηλίου, αναφορές δοκιμών μύλου υλικού και αρχεία επιθεώρησης διαστάσεων. Όλοι οι θάλαμοι κενού SYNVAC υποστηρίζονται από μια ολοκληρωμένη εγγύηση που καλύπτει ελαττώματα υλικού και κατασκευής, με τεχνική υποστήριξη μηχανικής διαθέσιμη για καθοδήγηση ενοποίησης συστήματος, βελτιστοποίηση διάταξης θύρας και επικύρωση απόδοσης μετά την εγκατάσταση.