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Détails sur le produit:
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| Forme de la chambre: | Cylindrique / Boîte / Sur mesure | Quantité gauche: | Personnalisable |
|---|---|---|---|
| Tailles de bride: | DN16CF à DN250CF, ISO63 à ISO500, KF10 à KF50 | Épaisseur de paroi: | 3-8mm |
| Options de la fenêtre: | Silice fondue/verre borosilicaté | Volume interne: | coutume |
| Mettre en évidence: | chambre à vide personnalisable,boîtier sous vide à ports multiples,Réservoir sous vide en acier inoxydable OEM |
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Cette chambre à vide multi-ports personnalisable en acier inoxydable est conçue pour les applications de revêtement industriel, de dépôt de couches minces et de traitement de matériaux qui exigent des configurations de ports à vide flexibles. Fabriquée en acier inoxydable de haute qualité 304 ou 316L, le corps de la chambre accepte plusieurs types de brides, notamment les connexions CF, ISO et KF, permettant aux intégrateurs de systèmes de configurer les ports de pompage, l'accès aux traversées et les interfaces d'instrumentation selon les exigences spécifiques du processus. Chaque chambre subit un test d'étanchéité à l'hélium pour vérifier l'intégrité du vide, avec toutes les soudures réalisées par soudage à l'arc sous argon pour des joints constants et de haute résistance. Disponible en solution OEM entièrement personnalisée, cette enceinte à vide s'adapte à divers flux de travail industriels, des systèmes de revêtement PVD aux expériences sous vide à l'échelle de la recherche.
Caractéristiques principales| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Matériau du corps | Acier inoxydable 304 ou 316L |
| Types de brides | CF (ConFlat), ISO-K, ISO-F, KF (NW) |
| Méthode de soudage | Soudage à l'arc sous argon (TIG) |
| Détection de fuite | Spectromètre de masse à l'hélium, ≤1x10-10 Pa·m3/s |
| Plage de pression de fonctionnement | Atmosphérique à 1x10-7 Pa |
| Finition de surface | Sablage aux billes de verre (standard) / Polissage électrolytique (en option) |
| Configuration des ports | Disposition entièrement personnalisable |
| Type de production | OEM / ODM |
Cette chambre à vide multi-ports sert de cuve de processus centrale pour les systèmes de revêtement industriel par dépôt physique en phase vapeur (PVD) et par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), où une allocation flexible des ports est essentielle pour accueillir plusieurs sources de pulvérisation magnétron, des réchauffeurs de substrat et des ports de surveillance optique. Dans les laboratoires de recherche sur les couches minces, la disposition configurable des brides permet une reconfiguration rapide des configurations expérimentales sans nécessiter le remplacement de la chambre. La chambre s'intègre également dans les stations de dégazage sous vide pour la purification de l'huile de transformateur, les systèmes de séchage sous vide pour la lyophilisation pharmaceutique et les chambres de simulation spatiale pour les tests de dégazage de composants. D'autres domaines d'application comprennent les systèmes de gravure plasma, les stations de traitement par faisceau d'ions et les fours de brasage sous vide où les enceintes à vide multi-accès constituent l'épine dorsale des flux de production.
Emballage et assurance qualitéChaque chambre à vide est nettoyée, purgée à l'azote sec et scellée avec des couvercles de bride de protection avant d'être emballée dans des caisses en bois sur mesure avec des inserts en mousse absorbant les chocs. Les chambres sont expédiées avec des certificats de test d'étanchéité à l'hélium, des rapports de tests de matériaux en usine et des enregistrements d'inspection dimensionnelle. Toutes les chambres à vide SYNVAC sont couvertes par une garantie complète couvrant les défauts de matériaux et de fabrication, avec un support technique d'ingénierie disponible pour les conseils d'intégration système, l'optimisation de la disposition des ports et la validation des performances post-installation.
Personne à contacter: Mr. Edison yang
Téléphone: 13218150898