غرفة فراغ متعددة الموانئ قابلة للتخصيص من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 316L OEM CF ISO KF الموانئ للتغليف الصناعي

تم تصميم غرفة التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ متعددة المنافذ القابلة للتخصيص للطلاء الصناعي وترسيب الأغشية الرقيقة وتطبيقات معالجة المواد التي تتطلب تكوينات مرنة لمنفذ التفريغ. مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 أو 316L عالي الجودة، ويستوعب جسم الغرفة أنواعًا متعددة من الفلنجات بما في ذلك وصلات CF وISO وKF، مما يسمح لمتكاملي الأنظمة بتكوين منافذ الضخ والوصول إلى التغذية وواجهات الأجهزة وفقًا لمتطلبات العملية المحددة. تخضع كل غرفة لاختبار تسرب الهيليوم للتحقق من سلامة الفراغ، مع إنتاج جميع الوصلات الملحومة باستخدام لحام قوس الأرجون للحصول على أختام متسقة وعالية القوة. متوفر كحل OEM مخصص بالكامل، يتكيف غلاف التفريغ هذا مع مسارات العمل الصناعية المتنوعة بدءًا من أنظمة طلاء PVD إلى تجارب التفريغ على نطاق بحثي.

• مرونة المنافذ المتعددة:يدعم جسم الغرفة التكامل المتزامن لفلنجات CF وISO وKF عبر أوجه متعددة، مما يتيح تخطيطات مخصصة للمضخات وأجهزة القياس والصمامات والتغذية الكهربائية دون المساس بالسلامة الهيكلية.
• هيكل من الفولاذ المقاوم للصدأ الفاخر:مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة 304 أو 316L مع محتوى منخفض من الكربون، مما يوفر مقاومة ممتازة للتآكل ضد غازات المعالجة والحد الأدنى من إطلاق الغازات لبيئات فراغ نظيفة.
• اللحام القوسي بالأرجون الدقيق:تستخدم جميع الوصلات والمفاصل من الحافة إلى الجسم تقنيات اللحام بقوس الأرجون لإنتاج لحام عميق الاختراق وخالي من التلوث مع مقاطع خرزية داخلية ناعمة تقاوم تكوين التسرب الظاهري.
• تم اختبار تسرب الهيليوم:تخضع كل غرفة لكشف تسرب مطياف كتلة الهيليوم بحساسية تصل إلى 1x10^-10بام³/ثانية، مما يضمن أداءً مانعًا للتسرب عبر نطاق ضغط التشغيل الكامل من التفريغ الخام إلى مستويات التفريغ العالية.
• التخصيص الكامل لتصنيع المعدات الأصلية:يمكن تحديد أبعاد الغرفة، ومواقع المنافذ، وأحجام الحواف، وقواطع منفذ العرض، والتركيبات الداخلية وفقًا للرسومات الهندسية للعملاء، مع إمكانات التصنيع واللحام الداخلية التي تتيح التحول السريع من النموذج الأولي إلى الإنتاج.
• خيارات المعالجة السطحية:يوفر تفجير الخرز الزجاجي القياسي لمسة نهائية غير لامعة موحدة، بينما يوفر الصقل الكهربائي الاختياري سطحًا داخليًا أملسًا كالمرآة يقلل من إطلاق الغازات ويسرع دورات الضخ لتطبيقات التفريغ الأكثر تطلبًا.
• التعزيز الهيكلي:يتم وضع ألواح التضليع والتجميع الخارجية بشكل استراتيجي على أجسام حجرة أكبر لمنع الانحراف تحت الفراغ، والحفاظ على ثبات الأبعاد ومحاذاة الحافة طوال دورات الحرارة والضغط المتكررة.

تعمل غرفة التفريغ متعددة المنافذ هذه بمثابة وعاء العملية الأساسية لأنظمة طلاء البخار الفيزيائي الصناعي (PVD) وترسيب البخار الكيميائي (CVD)، حيث يعد تخصيص المنافذ المرن أمرًا بالغ الأهمية لاستيعاب مصادر الرش المغنطروني المتعددة، وسخانات الركيزة، ومنافذ المراقبة البصرية. في مختبرات أبحاث الأغشية الرقيقة، يدعم تخطيط الحافة القابلة للتكوين إعادة التكوين السريع للإعدادات التجريبية دون الحاجة إلى استبدال الغرفة. تتكامل الغرفة أيضًا مع محطات التفريغ الفراغي لتنقية زيت المحولات، وأنظمة التجفيف الفراغي للتجفيد الصيدلاني، وغرف محاكاة الفضاء لاختبار إطلاق الغازات المكونة. تشمل مجالات التطبيق الإضافية أنظمة حفر البلازما، ومحطات معالجة الشعاع الأيوني، وأفران اللحام الفراغي حيث تشكل العبوات الفراغية متعددة الوصول العمود الفقري لسير عمل الإنتاج.

يتم تنظيف كل حجرة مفرغة، وتطهيرها بالنيتروجين الجاف، وإغلاقها بأغطية شفة واقية قبل تعبئتها في صناديق خشبية مُجهزة خصيصًا مع حشوات رغوية ممتصة للصدمات. يتم شحن الغرف مع شهادات اختبار تسرب الهيليوم، وتقارير اختبار مطحنة المواد، وسجلات فحص الأبعاد. يتم دعم جميع غرف SYNVAC المفرغة بضمان شامل يغطي عيوب المواد والصناعة، مع توفر الدعم الهندسي الفني لتوجيهات تكامل النظام، وتحسين تخطيط المنفذ، والتحقق من صحة الأداء بعد التثبيت.