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연구, 개발 및 산업 응용 분야를 위한 정밀 진공 챔버

세미 R&D용 이중 진공 챔버

진공 챔버는 제어된 저압 환경을 조성하기 위해 공기 및 기타 가스가 제거되는 견고한 인클로저입니다. 이러한 필수 시스템은 재료 과학 연구, 항공우주 부품 테스트, 반도체 처리, 박막 코팅 및 탈기를 포함한 광범위한 응용 분야에 중요합니다. 당사의 엔지니어링 진공 챔버는 가장 까다로운 실험 및 생산 요구 사항에 대해 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하도록 설계되었습니다.

제품 설명

당사의 표준 및 맞춤형 진공 챔버는 제어된 분위기가 필요한 공정을 위한 기본 환경을 제공합니다. 정밀도와 내구성을 염두에 두고 제조된 이 제품은 고진공부터 초고진공까지의 조건을 생성하기 위한 주요 격납 용기 역할을 합니다. 챔버는 펌프, 게이지, 밸브 및 피드스루를 포함한 전체 진공 구성 요소와 원활하게 통합되어 특정 작업 흐름에 맞는 완전한 진공 시스템을 구성하도록 설계되었습니다.

주요 기능 및 디자인 장점

• 견고한 구조:고급 304 또는 316L 스테인리스 스틸로 제작되어 깨끗한 진공 상태를 유지하는 데 필수적인 뛰어난 내식성, 우수한 강도 및 낮은 가스 방출 특성을 제공합니다.

• 우수한 밀봉:CF 또는 O-링 밀봉 시스템을 활용합니다. 구리 개스킷이 있는 CF 플랜지는 고진공 및 초고진공 응용 분야의 표준으로, 안정적인 헬륨 누출 방지 밀봉을 보장합니다.

• 유연한 구성:최적의 유연성을 위해 다양한 측면에서 여러 포트(NW, ISO, CF)를 사용할 수 있습니다. 특정 기기, 피드스루 및 프로세스 요구 사항을 수용하기 위해 사용자 정의 포트 위치, 크기 및 뷰포트 배치를 지정할 수 있습니다.

• 광학 및 물리적 액세스:고품질 뷰포트(유리 또는 석영)를 통해 시각적 모니터링, 분광학 또는 레이저 액세스가 가능합니다. 다양한 전기, 유체 및 모션 피드스루를 설치할 수 있습니다.

• 표면 마감:내부 표면은 표면적과 가스 방출을 최소화하기 위해 전해 연마되거나 정밀 베이킹되어 펌프다운 시간이 단축되고 최종 압력이 더 낮아집니다.

• 안전 및 신뢰성:압력 용기 코드(ASME)를 포함한 엄격한 안전 표준을 충족하도록 설계 및 테스트되었습니다. 모든 챔버는 엄격한 누출 테스트와 인증을 거칩니다.

귀하의 업무에 대한 주요 이점

• 프로세스 무결성:민감한 공정에 필요한 일관되고 깨끗한 진공 환경을 달성 및 유지하여 재현 가능한 결과와 높은 제품 수율을 보장합니다.

• 향상된 내구성:스테인레스 스틸 구조 및 전문 용접은 까다로운 산업 또는 주기적인 응용 분야에서도 긴 서비스 수명을 보장하여 총 소유 비용을 절감합니다.

• 가속화된 처리량:최적화된 내부 용적과 표면 마감으로 펌프다운 주기가 빨라지고 생산 환경에서 운영 효율성과 처리량이 증가합니다.

• 비교할 수 없는 다양성:여러 액세스 포인트가 있는 모듈식 설계를 통해 챔버를 향후 프로젝트 또는 변화하는 R&D 요구 사항에 맞게 조정 및 재구성할 수 있어 투자를 보호할 수 있습니다.

• 완벽한 진공 솔루션 찾기:새로운 연구 기지를 건설하든 생산 라인을 업그레이드하든 당사의 진공 챔버는 필요한 안정적인 고성능 기반을 제공합니다. 지금 엔지니어링 팀에 연락하여 프로젝트 요구 사항을 논의하고 맞춤형 견적을 요청하세요.