90° المرفقين لنظام الفراغ: التوصيل العالي والغازات المنخفضة

وصف المنتج

مرفق 90 درجة لنظام الفراغهي أدوات هندسية دقيقة مصممة لإعادة توجيه تدفق الغاز مع الحفاظ على سلامة النظام من الفراغ الخام إلى مستويات الفراغ فائقة الارتفاع (UHV).هذه المكونات المعدلة بالفراغ لديها نصف قطر داخلي سلس، الحد الأدنى من الأحجام المحاصرة، والتصميمات السطحية لدرجة الفراغ لمنع التسريبات الافتراضية والحد من الإفراج عن الغاز.

المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ منخفض الكربون (304L أو 316L) ، هذه المرفقات حاسمة للغرف الفراغية ، خطوط الضخ ، الأدوات التحليلية ، ومعدات أشباه الموصلات.يتم تصنيع كل مرفق 90 درجة مع الاهتمام الصارم لجودة لحامسواء كنت تقوم ببناء مجفف فراغ جديد أو تعديل نظام ترسب أو إصلاح محطة اكتشاف التسربهذه المرفقين توفر التوصيل والموثوقية التي تتطلب تطبيقات فراغ متطلبة.

السمات الرئيسية والخصائص

• زاوية الانحناء:90 درجة (زوايا مخصصة متاحة أيضا)

• نصف قطر الانحناء:نصف قطر طويل (1.5 × DN) أو نصف قطر قصير (1.0 × DN)

• نطاق الفراغ:الغلاف الجوي إلى 1 × 10-9 تور (متوافق مع UHV)

• معايير الشبكة:ISO-KF، ISO-K، CF (ConFlat) ، أو تكوينات مخصصة

• المواد:304L / 316L الفولاذ المقاوم للصدأ (التنفس المغناطيسي المنخفض)

• التشطيب السطحي الداخلي:Ra ≤ 0.8 μm (المصقولة بالكهرباء أو المصقولة ميكانيكياً)

• معدل إفراز الغازات:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (بعد تنظيف الفراغ)

• سلامة التسرب:اختبار تسرب الهيليوم إلى < 1 × 10−9 mbar·L/s

• القدرة على الخبز:ما يصل إلى 400 درجة مئوية (شرائح CF مع أغطية معدنية)

• الاتصالات:كل من خيارات اللحاء الدوري والثابت

التطبيقات

• خطوط ضخ الفراغ:ربط مضخات التوربو بمنافذ الخط الأمامي أو الغرفة

• ترسبات فيلم رقيق:أنظمة التبخير والتبخير و ALD

• الكشف عن تسرب الهيليوم:إعادة توجيه التدفق بين منافذ الاختبار وأجهزة الكشف

• أدوات التحليل:طيفات الكتلة، المجهر الإلكتروني، أدوات تحليل السطح

• معدات أشباه الموصلات:أقفال الحمولة وغرف النقل ووحدات العملية

• مقاطع الفراغ في البحث والتطوير:ترتيبات متعددة الموانئ المعقدة

• محاكاة الفضاء:أنابيب غرفة فراغ حرارية

لماذا تختار مرفقنا 90 درجة لأنظمة الفراغ؟

نحن نجمع بين ثني الأنابيب التي يتم التحكم بها بواسطة CNC مع لحام مداري وبرمجة كهربائية لتقديم مرفقات فراغ تلبي أو تتجاوز معايير الفراغ النظيفة الدوليةتم تنظيفها بالموجات فوق الصوتية بمطهرات من نوع أشباه الموصلات، ويتم وضعها في حقائب مزدوجة في بيئة غرفة نظيفة. يمكن الحصول على نصف قطر الانحناء المخصص ، وتوجهات الجهاز غير القياسية ، وأطوال خاصة مع دعم الهندسة.