Колено 90° для вакуумной системы: высокая проводимость и низкое газовыделение

Описание продукта

Колено 90° для вакуумной системыпредставляют собой прецизионные фитинги, предназначенные для перенаправления потока газа при сохранении целостности системы от уровня грубого вакуума до уровня сверхвысокого вакуума (СВВ). В отличие от стандартных сантехнических колен, эти компоненты, рассчитанные на вакуум, имеют гладкие внутренние радиусы, минимальные захваченные объемы и обработку поверхности, соответствующую требованиям вакуума, для предотвращения виртуальных утечек и уменьшения газовыделения.

Эти колена, изготовленные из низкоуглеродистой нержавеющей стали (304L или 316L), незаменимы для вакуумных камер, насосных линий, аналитических приборов и полупроводникового оборудования. Каждое колено 90° изготавливается с особым вниманием к качеству сварки, состоянию внутренней поверхности и выравниванию фланцев. Независимо от того, создаете ли вы новый вакуумный коллектор, модифицируете систему осаждения или ремонтируете станцию ​​обнаружения утечек, эти колена обеспечивают проводимость и надежность, необходимые для требовательных вакуумных приложений.

Ключевые особенности и характеристики

• Угол изгиба:90 градусов (также доступны нестандартные углы)

• Радиус изгиба:Длинный радиус (1,5×DN) или короткий радиус (1,0×DN)

• Диапазон вакуума:Атмосферное до 1×10⁻⁹ Торр (совместимо со сверхвысоким напряжением)

• Стандарты фланцев:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) или пользовательские конфигурации

• Материал:Нержавеющая сталь 304L/316L (низкая магнитная проницаемость)

• Отделка внутренней поверхности:Ra ≤ 0,8 мкм (электрополировка или механическая полировка)

• Скорость дегазации:< 2×10⁻⁸ Торр·л/с·см² (после очистки пылесосом)

• Целостность утечки:Утечка гелия проверена на давление < 1×10⁻⁹ мбар·л/с.

• Возможность запекания:До 400°C (фланцы CF с металлическими уплотнениями)

• Соединения:Варианты как с вращающимся, так и с фиксированным фланцем.

Приложения

• Линии вакуумной откачки:Подключение турбонасосов к форвакуумным портам или портам камеры.

• Тонкопленочное осаждение:Системы напыления, испарения и ALD

• Обнаружение утечек гелия:Перенаправление потока между тестовыми портами и детекторами

• Аналитические инструменты:Масс-спектрометры, электронные микроскопы, инструменты анализа поверхности

• Полупроводниковое оборудование:Загрузочные шлюзы, передаточные камеры и технологические модули

• Вакуумные коллекторы для исследований и разработок:Сложные многопортовые схемы

• Космическое моделирование:Сантехника термовакуумной камеры

Почему стоит выбрать наши колена 90° для вакуумных систем?

Мы сочетаем гибку труб с ЧПУ с орбитальной сваркой и электрополировкой для производства вакуумных колен, которые соответствуют международным стандартам чистого вакуума или превосходят их. Каждое колено проверяется на герметичность гелием, очищается ультразвуком с использованием моющих средств полупроводникового класса и упаковывается в двойной мешок в условиях чистого помещения. Пользовательские радиусы изгиба, нестандартная ориентация фланцев и специальная длина доступны при технической поддержке.