Siku 90° untuk Sistem Vakum: Konduktansi Tinggi & Pelepasan Gas Rendah

Deskripsi Produk

Siku 90° untuk sistem vakumadalah alat kelengkapan yang dirancang secara presisi untuk mengalihkan aliran gas sekaligus menjaga integritas sistem dari tingkat vakum kasar ke tingkat vakum ultra-tinggi (UHV). Tidak seperti siku pipa standar, komponen dengan tingkat vakum ini memiliki jari-jari internal yang halus, volume terperangkap minimal, dan permukaan akhir tingkat vakum untuk mencegah kebocoran virtual dan mengurangi pelepasan gas.

Diproduksi dari baja tahan karat rendah karbon (304L atau 316L), siku ini sangat penting untuk ruang vakum, saluran pompa, instrumen analitik, dan peralatan semikonduktor. Setiap siku 90° dibuat dengan perhatian ketat terhadap kualitas las, kondisi permukaan internal, dan kesejajaran flensa. Baik Anda membuat manifold vakum baru, memodifikasi sistem pengendapan, atau memperbaiki stasiun deteksi kebocoran, siku ini memberikan konduktansi dan keandalan yang dibutuhkan oleh aplikasi vakum yang menuntut.

Fitur & Karakteristik Utama

• Sudut Tikungan:90 derajat (sudut khusus juga tersedia)

• Radius Tikungan:Radius panjang (1,5× DN) atau radius pendek (1,0× DN)

• Kisaran Vakum:Atmosfer hingga 1×10⁻⁹ Torr (kompatibel dengan UHV)

• Standar Flensa:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat), atau konfigurasi khusus

• Bahan:Baja tahan karat 304L / 316L (permeabilitas magnetik rendah)

• Selesai Permukaan Dalam:Ra ≤ 0,8 µm (dipoles secara elektro atau dipoles secara mekanis)

• Tingkat Pelepasan Gas:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (setelah pembersihan vakum)

• Integritas Kebocoran:Kebocoran helium diuji hingga < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Kemampuan Memanggang:Hingga 400°C (flensa CF dengan segel logam)

• Koneksi:Opsi flensa yang dapat diputar dan tetap

Aplikasi

• Jalur pemompaan vakum:Menghubungkan pompa turbo ke port garis depan atau ruang

• Deposisi film tipis:Sistem sputtering, evaporasi, dan ALD

• Deteksi kebocoran helium:Mengarahkan aliran antara port pengujian dan detektor

• Instrumen analisis:Spektrometer massa, mikroskop elektron, alat analisis permukaan

• Peralatan semikonduktor:Kunci muat, ruang transfer, dan modul proses

• Manifold vakum R&D:Pengaturan multi-port yang kompleks

• Simulasi luar angkasa:Pipa ruang vakum termal

Mengapa Memilih Siku 90° Kami untuk Sistem Vakum?

Kami menggabungkan pembengkokan tabung yang dikontrol CNC dengan pengelasan orbital dan pemolesan listrik untuk menghasilkan siku vakum yang memenuhi atau melampaui standar vakum bersih internasional. Setiap siku diuji kebocoran helium, dibersihkan secara ultrasonik dengan deterjen tingkat semikonduktor, dan dimasukkan ke dalam kantong ganda di lingkungan ruang bersih. Jari-jari tikungan khusus, orientasi flensa non-standar, dan panjang khusus tersedia dengan dukungan teknis.