90°-Winkel für Vakuumsystem: Hohe Leitfähigkeit und geringe Ausgasung

Produktbeschreibung

90°-Bögen für Vakuumsystemsind präzisionsgefertigte Armaturen, die den Gasstrom umleiten und gleichzeitig die Systemintegrität vom Grobvakuum bis zum Ultrahochvakuum (UHV) aufrechterhalten. Im Gegensatz zu Standard-Rohrbögen verfügen diese vakuumgeeigneten Komponenten über glatte Innenradien, minimale eingeschlossene Volumina und vakuumtaugliche Oberflächenveredelungen, um virtuelle Lecks zu verhindern und Ausgasungen zu reduzieren.

Diese aus kohlenstoffarmem Edelstahl (304L oder 316L) gefertigten Winkelstücke sind für Vakuumkammern, Pumpleitungen, Analyseinstrumente und Halbleitergeräte von entscheidender Bedeutung. Bei der Herstellung jedes 90°-Winkelstücks wird streng auf die Schweißqualität, den Zustand der Innenoberfläche und die Flanschausrichtung geachtet. Ganz gleich, ob Sie einen neuen Vakuumverteiler bauen, ein Beschichtungssystem modifizieren oder eine Lecksuchstation reparieren, diese Winkelstücke liefern die Leitfähigkeit und Zuverlässigkeit, die anspruchsvolle Vakuumanwendungen erfordern.

Hauptmerkmale und Eigenschaften

• Biegewinkel:90 Grad (benutzerdefinierte Winkel sind ebenfalls verfügbar)

• Biegeradius:Langer Radius (1,5× DN) oder kurzer Radius (1,0× DN)

• Vakuumbereich:Atmosphärisch bis 1×10⁻⁹ Torr (UHV-kompatibel)

• Flanschstandards:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) oder benutzerdefinierte Konfigurationen

• Material:Edelstahl 304L / 316L (geringe magnetische Permeabilität)

• Interne Oberflächenbeschaffenheit:Ra ≤ 0,8 µm (elektropoliert oder mechanisch poliert)

• Ausgasungsrate:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (nach Staubsaugen)

• Leckintegrität:Heliumleck getestet auf < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Ausheizfähigkeit:Bis 400°C (CF-Flansche mit Metalldichtungen)

• Verbindungen:Sowohl drehbare als auch feste Flanschoptionen

Anwendungen

• Vakuumpumplinien:Anschließen von Turbopumpen an Vorleitungs- oder Kammeranschlüsse

• Dünnschichtabscheidung:Sputter-, Verdampfungs- und ALD-Systeme

• Erkennung von Heliumlecks:Umleitung des Flusses zwischen Testanschlüssen und Detektoren

• Analysegeräte:Massenspektrometer, Elektronenmikroskope, Oberflächenanalysegeräte

• Halbleiterausrüstung:Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodule

• F&E-Vakuumverteiler:Komplexe Multi-Port-Anordnungen

• Weltraumsimulation:Rohrleitungen für thermische Vakuumkammern

Warum sollten Sie sich für unsere 90°-Bögen für Vakuumsysteme entscheiden?

Wir kombinieren CNC-gesteuertes Rohrbiegen mit Orbitalschweißen und Elektropolieren, um Vakuumbögen zu liefern, die die internationalen Standards für sauberes Vakuum erfüllen oder übertreffen. Jeder Winkel wird auf Heliumlecks geprüft, mit Ultraschallreinigungsmitteln in Halbleiterqualität gereinigt und in einer Reinraumumgebung doppelt verpackt. Kundenspezifische Biegeradien, nicht standardmäßige Flanschausrichtungen und Sonderlängen sind mit technischer Unterstützung erhältlich.