Khuỷu 90° cho hệ thống chân không: Độ dẫn cao và thoát khí thấp

Mô tả sản phẩm

Khuỷu tay 90° cho hệ thống chân khônglà các phụ kiện được thiết kế chính xác để chuyển hướng dòng khí trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn của hệ thống từ mức chân không thô đến mức chân không cực cao (UHV). Không giống như các khuỷu nối ống nước tiêu chuẩn, các bộ phận được đánh giá bằng chân không này có bán kính bên trong mịn, thể tích bị mắc kẹt tối thiểu và lớp hoàn thiện bề mặt ở cấp độ chân không để ngăn chặn rò rỉ ảo và giảm thoát khí.

Được sản xuất từ ​​​​thép không gỉ có hàm lượng carbon thấp (304L hoặc 316L), những khuỷu tay này rất quan trọng đối với buồng chân không, đường bơm, dụng cụ phân tích và thiết bị bán dẫn. Mỗi khuỷu tay 90° được chế tạo với sự chú ý nghiêm ngặt đến chất lượng mối hàn, tình trạng bề mặt bên trong và sự căn chỉnh mặt bích. Cho dù bạn đang chế tạo một ống góp chân không mới, sửa đổi hệ thống lắng đọng hay sửa chữa trạm phát hiện rò rỉ, những khuỷu tay này mang lại độ dẫn điện và độ tin cậy mà các ứng dụng chân không đòi hỏi khắt khe.

Các tính năng và đặc điểm chính

• Góc uốn cong:90 độ (góc tùy chỉnh cũng có sẵn)

• Bán kính uốn cong:Bán kính dài (1,5× DN) hoặc bán kính ngắn (1,0× DN)

• Phạm vi chân không:Khí quyển tới 1×10⁻⁹ Torr (tương thích với UHV)

• Tiêu chuẩn mặt bích:Cấu hình ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) hoặc tùy chỉnh

• Vật liệu:Thép không gỉ 304L/316L (độ thấm từ thấp)

• Hoàn thiện bề mặt bên trong:Ra ≤ 0,8 µm (đánh bóng bằng điện hoặc đánh bóng cơ học)

• Tỷ lệ thoát khí:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (sau khi hút bụi)

• Tính toàn vẹn của rò rỉ:Đã kiểm tra rò rỉ khí heli ở mức < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Khả năng nướng:Lên đến 400°C (mặt bích CF có vòng đệm kim loại)

• Kết nối:Cả hai tùy chọn mặt bích có thể xoay và cố định

Ứng dụng

• Dây chuyền bơm chân không:Kết nối máy bơm turbo với cổng tiền tuyến hoặc cổng buồng

• Lắng đọng màng mỏng:Hệ thống phún xạ, bay hơi và ALD

• Phát hiện rò rỉ khí Heli:Chuyển hướng luồng giữa các cổng kiểm tra và máy dò

• Dụng cụ phân tích:Máy quang phổ khối, kính hiển vi điện tử, dụng cụ phân tích bề mặt

• Thiết bị bán dẫn:Khóa tải, buồng chuyển và mô-đun xử lý

• Đa tạp chân không R & D:Bố trí nhiều cổng phức tạp

• Mô phỏng không gian:Hệ thống ống nước buồng chân không nhiệt

Tại sao chọn khuỷu tay 90° của chúng tôi cho hệ thống chân không?

Chúng tôi kết hợp uốn ống được điều khiển bằng CNC với hàn quỹ đạo và đánh bóng bằng điện để cung cấp các khuỷu chân không đáp ứng hoặc vượt tiêu chuẩn chân không sạch quốc tế. Mỗi khuỷu tay đều được kiểm tra rò rỉ khí heli, làm sạch bằng siêu âm bằng chất tẩy rửa cấp bán dẫn và đóng gói hai lần trong môi trường phòng sạch. Bán kính uốn cong tùy chỉnh, hướng mặt bích không chuẩn và chiều dài đặc biệt có sẵn với sự hỗ trợ kỹ thuật.