90 ° คอคสําหรับระบบ Vakuum: การนําไฟสูงและการออกแก๊สต่ํา

คําอธิบายสินค้า

90 ° คอบสําหรับระบบระบายความว่างเป็นเครื่องติดตั้งที่ออกแบบด้วยความแม่นยํา เพื่อนํากระแสก๊าซไปทางอื่น โดยยังคงรักษาความสมบูรณ์แบบของระบบ จากระดับระดับระยะว่างที่หยาบซึม เป็นระดับระดับระยะว่างที่สูงสุด (UHV)องค์ประกอบระดับระยะว่างเหล่านี้มีรัศมีภายในเรียบ, ขนาดที่จํากัดอย่างน้อย และการปิดผิวแบบระดับระดับระยะว่าง เพื่อป้องกันการรั่วไหลจริงและลดการออกก๊าซ

ผลิตจากสแตนเลสที่มีคาร์บอนต่ํา (304L หรือ 316L) คอเหล่านี้มีความสําคัญสําหรับห้องว่าง, เส้นการสูบ, อุปกรณ์การวิเคราะห์, และอุปกรณ์ครึ่งนําแต่ละ 90 องศาเอลโค้กถูกผลิตด้วยความสนใจอย่างเคร่งครัดเพื่อคุณภาพการเชื่อมไม่ว่าจะเป็นการสร้างแหล่งหลอดสูบใหม่ การปรับปรุงระบบฝัง หรือซ่อมแซมสถานีตรวจสอบการรั่วกลมโคลนเหล่านี้ให้การนําและความน่าเชื่อถือที่ต้องการการใช้งานระยะว่างที่ต้องการ.

ลักษณะและลักษณะสําคัญ

• มุมบิด:90 องศา (มุมที่กําหนดเองยังมี)

• รังสีโค้ง:แพร่ระยะยาว (1.5 × DN) หรือแพร่ระยะสั้น (1.0 × DN)

• ระยะระยะว่าง:ระดับบรรยากาศ 1×10−9 Torr (เข้ากับ UHV)

• มาตรฐานของฟลานจ์:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) หรือการตั้งค่าตามความต้องการ

• วัสดุสแตนเลส 304L / 316L (ความสามารถในการผ่านแม่เหล็กต่ํา)

• ปลายพื้นผิวภายใน:Ra ≤ 0.8 μm (เคลือบไฟฟ้าหรือเคลือบกล)

• อัตราการออกก๊าซ< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (หลังจากทําความสะอาดด้วยสูบ)

• ความสมบูรณ์แบบของการรั่วไหลการรั่วไหลของฮีเลียมที่ทดสอบถึง < 1 × 10−9 mbar·L/s

• ความสามารถในการเผา:ถึง 400 °C (ฟลานจ์ CF พร้อมปุ่มโลหะ)

• การเชื่อมต่อ:ทั้งตัวเลือก flange ปั่นและคง

การใช้งาน

• สายปั๊มระบายความว่าง:การเชื่อมต่อปั๊มทอร์โบกับสายหน้าหรือประตูห้อง

• การฝากผนังบาง:ระบบกระจาย, การระเหยและ ALD

• การตรวจพบการรั่วไหลของฮีเลียมการนํากระแสระหว่างจุดทดสอบและตัวตรวจจับ

• เครื่องมือวิเคราะห์:เครื่องวัดสเปคตรเมตรมวล เครื่องกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอน เครื่องมือวิเคราะห์ผิว

• อุปกรณ์ครึ่งตัวนํา:โหลดภาระ, ห้องโอนและโมดูลกระบวนการ

• เครื่องระบายอากาศ R&D:การจัดการหลายท่าเรือที่ซับซ้อน

• การจําลองอวกาศ:เครื่องประปาห้องสูบร้อน

ทําไมต้องเลือกเอลโค 90 องศา ของเรา สําหรับระบบระบายความร้อน

เรารวมการบิดท่อที่ควบคุมด้วย CNC กับการปั่นโคจร และการเคลือบไฟฟ้า เพื่อให้มีคอสูบที่ตรงกับ หรือเกินมาตรฐานระดับสากลทําความสะอาด ultrasonic ด้วยยาซักผ้าประเภท semiconductor, และกระเป๋าสองในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด แรงเข็มบิดตามสั่ง, การตั้งทิศทาง flange ไม่มาตรฐาน, และความยาวพิเศษมีให้เลือกพร้อมกับการสนับสนุนทางวิศวกรรม