Tees para sistema de vácuo: ramificação versátil com integridade descomprometida

Descrição do produto

Camisetas para sistema de vácuosão conexões de ramificação de precisão projetadas para dividir ou combinar caminhos de fluxo de gás, preservando a integridade do vácuo, desde níveis de vácuo bruto até níveis de vácuo ultra-alto (UHV). Ao contrário dos tees de encanamento padrão, esses componentes classificados para vácuo apresentam geometrias internas suaves, volumes presos mínimos e acabamentos de superfície adequados para vácuo para eliminar vazamentos virtuais e reduzir a liberação de gases.

Fabricados em aço inoxidável de baixo carbono (304L ou 316L), esses tês são essenciais para coletores de vácuo, portas de instrumentação, linhas de introdução de gás e redes de bombeamento. Cada T é fabricado com estrita atenção à qualidade da solda, condição da superfície interna e alinhamento do flange em todas as três portas. Esteja você adicionando um manômetro, conectando um analisador de gás residual (RGA) ou construindo um sistema complexo de distribuição de gás, esses tees oferecem a condutância e a confiabilidade que as aplicações exigentes de alto vácuo e UHV exigem.

Principais recursos e características

• Configuração:T verdadeiro de três portas (direto com ramificação perpendicular)

• Orientação da Filial:Perpendicular (90°) ao eixo principal (ângulos personalizados disponíveis)

• Faixa de vácuo:Atmosférico até 1×10⁻⁹ Torr (compatível com UHV)

• Padrões de flange:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) ou configurações personalizadas

• Material:Aço inoxidável 304L / 316L (baixa permeabilidade magnética)

• Acabamento de superfície interna:Ra ≤ 0,8 µm (eletropolido ou polido mecanicamente)

• Taxa de desgaseificação:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (após aspiração)

• Integridade de vazamento:Vazamento de hélio testado para < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Capacidade de cozimento:Até 400°C (flanges CF com vedações metálicas)

• Opções de porta:Todas as configurações de flanges rotativas, fixas ou mistas

Aplicativos

• Coletores de vácuo:Redes de distribuição multiportas para bombeamento e ventilação

• Portas de instrumentação:Conectando manômetros, RGAs e medidores de íons

• Linhas de introdução de gás:Admissão de gases de processo em câmaras de deposição

• Deposição de filme fino:Sistemas de pulverização catódica, evaporação e ALD

• Detecção de vazamento de hélio:Criando ramificações T para conexões de porta de teste

• Instrumentos analíticos:Espectrômetros de massa, microscópios eletrônicos, ferramentas de análise de superfície

• Equipamento semicondutor:Bloqueios de carga, câmaras de transferência e módulos de processo

• Sistemas de vácuo de pesquisa e desenvolvimento:Configurações experimentais flexíveis que exigem vários pontos de acesso

Por que escolher nossas camisetas para sistemas de vácuo?

Combinamos forjamento de precisão, usinagem CNC e soldagem orbital para fornecer tês de vácuo que atendem ou excedem os padrões internacionais de vácuo limpo. Cada camiseta é testada contra vazamento de hélio, limpa ultrassonicamente com detergentes de grau semicondutor e ensacada duas vezes em um ambiente de sala limpa. Tês reduzidos (diâmetros de ramificação diferentes), orientações de porta personalizadas e comprimentos especiais estão disponíveis com suporte de engenharia.