Tees για σύστημα κενού: Ευέλικτη διακλάδωση με ασυμβίβαστη ακεραιότητα

Περιγραφή προϊόντος

Μπλουζάκια για σύστημα κενούείναι εξαρτήματα διακλάδωσης ακριβείας που έχουν σχεδιαστεί για να διαχωρίζουν ή να συνδυάζουν διαδρομές ροής αερίου διατηρώντας παράλληλα την ακεραιότητα του κενού από το τραχύ κενό έως τα επίπεδα εξαιρετικά υψηλού κενού (UHV). Σε αντίθεση με τα τυπικά μπλουζάκια υδραυλικών εγκαταστάσεων, αυτά τα εξαρτήματα με βαθμολογία κενού διαθέτουν ομαλές εσωτερικές γεωμετρίες, ελάχιστους εγκλωβισμένους όγκους και φινιρίσματα επιφανειών ποιότητας κενού για την εξάλειψη των εικονικών διαρροών και τη μείωση της εκροής αερίων.

Κατασκευασμένα από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα (304L ή 316L), αυτά τα tee είναι απαραίτητα για πολλαπλούς κενού, θύρες οργάνων, γραμμές εισαγωγής αερίου και δίκτυα άντλησης. Κάθε μπλουζάκι κατασκευάζεται με αυστηρή προσοχή στην ποιότητα συγκόλλησης, την κατάσταση της εσωτερικής επιφάνειας και την ευθυγράμμιση της φλάντζας και στις τρεις θύρες. Είτε προσθέτετε μανόμετρο, συνδέετε έναν αναλυτή υπολειπόμενων αερίων (RGA) είτε κατασκευάζετε ένα σύνθετο σύστημα διανομής αερίου, αυτά τα tee προσφέρουν την αγωγιμότητα και την αξιοπιστία που απαιτούν οι απαιτητικές εφαρμογές υψηλού κενού και UHV.

Βασικά Χαρακτηριστικά & Χαρακτηριστικά

• Διαμόρφωση:Πραγματικό μπλουζάκι τριών θυρών (ευθεία με κάθετο κλάδο)

• Προσανατολισμός κλάδου:Κάθετη (90°) στον κύριο άξονα (διαθέσιμες προσαρμοσμένες γωνίες)

• Εύρος κενού:Ατμοσφαιρικό έως 1×10-4 Torr (συμβατό με UHV)

• Πρότυπα φλάντζας:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) ή προσαρμοσμένες διαμορφώσεις

• Υλικό:304L / 316L από ανοξείδωτο χάλυβα (χαμηλή μαγνητική διαπερατότητα)

• Φινίρισμα εσωτερικής επιφάνειας:Ra ≤ 0,8 µm (ηλεκτρογυαλισµένο ή µηχανικά γυαλισµένο)

• Ποσοστό εξαγωγής αερίων:< 2×10⁻8 Torr·L/s·cm² (μετά τον καθαρισμό με ηλεκτρική σκούπα)

• Ακεραιότητα διαρροής:Η διαρροή ηλίου δοκιμάστηκε σε < 1×10-4 mbar·L/s

• Δυνατότητα Bakeout:Έως 400°C (φλάντζες CF με μεταλλικές σφραγίδες)

• Επιλογές λιμένα:Όλες οι φλάντζες περιστρεφόμενες, σταθερές ή μικτές διαμορφώσεις

Εφαρμογές

• Πολλαπλές κενού:Δίκτυα διανομής πολλαπλών λιμένων για άντληση και εξαερισμό

• Θύρες οργάνων:Σύνδεση μετρητών πίεσης, RGA και ιόντων

• Γραμμές εισαγωγής φυσικού αερίου:Εισαγωγή αερίων διεργασίας στους θαλάμους εναπόθεσης

• Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης:Συστήματα διασκορπισμού, εξάτμισης και ALD

• Ανίχνευση διαρροής ηλίου:Δημιουργία διακλαδώσεων T για συνδέσεις δοκιμαστικής θύρας

• Αναλυτικά όργανα:Φασματόμετρα μάζας, ηλεκτρονικά μικροσκόπια, εργαλεία ανάλυσης επιφανειών

• Εξοπλισμός ημιαγωγών:Φορτώστε κλειδαριές, θαλάμους μεταφοράς και μονάδες διεργασίας

• Συστήματα κενού Ε&Α:Ευέλικτες πειραματικές ρυθμίσεις που απαιτούν πολλαπλά σημεία πρόσβασης

Γιατί να επιλέξετε τα μπλουζάκια μας για συστήματα κενού;

Συνδυάζουμε σφυρηλάτηση ακριβείας, κατεργασία CNC και τροχιακή συγκόλληση για να παραδίδουμε tees κενού που πληρούν ή υπερβαίνουν τα διεθνή πρότυπα καθαρού κενού. Κάθε μπλουζάκι έχει ελεγχθεί για διαρροή ηλίου, καθαρίζεται με υπερήχους με απορρυπαντικά ποιότητας ημιαγωγών και τοποθετείται σε διπλή σακούλα σε περιβάλλον καθαρού δωματίου. Μειωτικά μπλουζάκια (διαφορετική διάμετρος διακλάδωσης), προσαρμοσμένοι προσανατολισμοί θυρών και ειδικά μήκη είναι διαθέσιμα με τεχνική υποστήριξη.