T-Stücke für Vakuumsysteme: Vielseitige Verzweigung mit kompromissloser Integrität

Produktbeschreibung

T-Stücke für Vakuumsystemsind Präzisionsverzweigungsanschlüsse, die zum Teilen oder Kombinieren von Gasströmungswegen konzipiert sind und gleichzeitig die Vakuumintegrität vom Grobvakuum bis zum Ultrahochvakuum (UHV) bewahren. Im Gegensatz zu herkömmlichen T-Stücken für Rohrleitungen verfügen diese vakuumtauglichen Komponenten über glatte Innengeometrien, minimale eingeschlossene Volumina und vakuumtaugliche Oberflächenveredelungen, um virtuelle Lecks zu beseitigen und Ausgasungen zu reduzieren.

Diese aus kohlenstoffarmem Edelstahl (304L oder 316L) gefertigten T-Stücke sind unverzichtbar für Vakuumverteiler, Instrumentierungsanschlüsse, Gaseinleitungsleitungen und Pumpnetzwerke. Bei der Herstellung jedes T-Stücks wird streng auf die Schweißqualität, den Zustand der Innenoberfläche und die Flanschausrichtung an allen drei Anschlüssen geachtet. Ob Sie ein Manometer hinzufügen, einen Restgasanalysator (RGA) anschließen oder ein komplexes Gasverteilungssystem aufbauen, diese T-Stücke bieten die Leitfähigkeit und Zuverlässigkeit, die anspruchsvolle Hochvakuum- und UHV-Anwendungen erfordern.

Hauptmerkmale und Eigenschaften

• Konfiguration:Echtes T-Stück mit drei Anschlüssen (gerade mit senkrechtem Abzweig)

• Branchenorientierung:Senkrecht (90°) zur Hauptachse (kundenspezifische Winkel verfügbar)

• Vakuumbereich:Atmosphärisch bis 1×10⁻⁹ Torr (UHV-kompatibel)

• Flanschstandards:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) oder benutzerdefinierte Konfigurationen

• Material:Edelstahl 304L / 316L (geringe magnetische Permeabilität)

• Interne Oberflächenbeschaffenheit:Ra ≤ 0,8 µm (elektropoliert oder mechanisch poliert)

• Ausgasungsrate:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (nach Staubsaugen)

• Leckintegrität:Heliumleck getestet auf < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Ausheizfähigkeit:Bis 400°C (CF-Flansche mit Metalldichtungen)

• Portoptionen:Alle Flansche in drehbarer, fester oder gemischter Konfiguration

Anwendungen

• Vakuumverteiler:Verteilernetze mit mehreren Anschlüssen zum Pumpen und Entlüften

• Instrumentierungsanschlüsse:Anschluss von Druckmessgeräten, RGAs und Ionenmessgeräten

• Gaseinleitungsleitungen:Einleiten von Prozessgasen in Abscheidungskammern

• Dünnschichtabscheidung:Sputter-, Verdampfungs- und ALD-Systeme

• Erkennung von Heliumlecks:Erstellen von T-Abzweigen für Testport-Verbindungen

• Analysegeräte:Massenspektrometer, Elektronenmikroskope, Oberflächenanalysegeräte

• Halbleiterausrüstung:Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodule

• F&E-Vakuumsysteme:Flexible Versuchsaufbauten, die mehrere Zugangspunkte erfordern

Warum sollten Sie sich für unsere T-Stücke für Vakuumsysteme entscheiden?

Wir kombinieren Präzisionsschmieden, CNC-Bearbeitung und Orbitalschweißen, um Vakuum-T-Stücke zu liefern, die die internationalen Standards für sauberes Vakuum erfüllen oder übertreffen. Jedes T-Stück wird auf Heliumlecks getestet, mit Ultraschallreinigungsmitteln in Halbleiterqualität gereinigt und in einer Reinraumumgebung doppelt verpackt. Reduzier-T-Stücke (unterschiedliche Abzweigdurchmesser), kundenspezifische Anschlussausrichtungen und Sonderlängen sind mit technischer Unterstützung erhältlich.