ทีสําหรับระบบระยะว่าง: การแข่งขันที่หลากหลายที่มีความสมบูรณ์แบบที่ไม่เสี่ยง

คําอธิบายสินค้า

ชุดสําหรับระบบระบายความว่างเป็นอุปกรณ์ปรับขาแม่นยําที่ออกแบบมาเพื่อแยกหรือรวมเส้นทางการไหลของก๊าซในขณะที่อนุรักษ์ความสมบูรณ์แบบของระยะว่างจากระดับระยะว่างหยาบจนถึงระดับระดับระยะว่างสูงสุด (UHV)องค์ประกอบที่ระดับระยะว่างนี้มีกณิตศาสตร์ภายในเรียบ, ขนาดที่ถูกจับไว้อย่างน้อย และการทําปลายพื้นผิวแบบระดับระดับระยะว่าง เพื่อกําจัดการรั่วไหล virtual และลดการออกก๊าซ

ผลิตจากสแตนเลสที่มีคาร์บอนต่ํา (304L หรือ 316L) ชิ้นส่วนเหล่านี้เป็นสิ่งจําเป็นสําหรับกระบวนการกระบวนการกระบวนการกระบวนการกระบวนการกระบวนการแต่ละ tee ถูกผลิตด้วยความสนใจอย่างเคร่งครัดกับคุณภาพการเชื่อม, สภาพผิวภายใน, และการสอดคล้อง flange ทั่วทั้งสามท่าทาง ไม่ว่าคุณจะเพิ่มเครื่องวัดความดัน, การเชื่อมต่อเครื่องวิเคราะห์ก๊าซเหลือ (RGA),หรือสร้างระบบกระจายก๊าซที่ซับซ้อน, เครื่องยนต์เหล่านี้ให้การนําและความน่าเชื่อถือที่ต้องการการใช้งานระยะว่างสูงและ UHV.

ลักษณะและลักษณะสําคัญ

• การตั้งค่า:true three-port tee (ตรงข้ามกับสาขาตั้ง)

• สาขา:ขอบ (90°) กับแกนหลัก (มุมตามต้องการ)

• ระยะระยะว่าง:ระดับบรรยากาศ 1×10−9 Torr (เข้ากับ UHV)

• มาตรฐานของฟลานจ์:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) หรือการตั้งค่าตามความต้องการ

• วัสดุสแตนเลส 304L / 316L (ความสามารถในการผ่านแม่เหล็กต่ํา)

• ปลายพื้นผิวภายใน:Ra ≤ 0.8 μm (เคลือบไฟฟ้าหรือเคลือบกล)

• อัตราการออกก๊าซ< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (หลังจากทําความสะอาดด้วยสูบ)

• ความสมบูรณ์แบบของการรั่วไหลการรั่วไหลของฮีเลียมที่ทดสอบถึง < 1 × 10−9 mbar·L/s

• ความสามารถในการเผา:ถึง 400 °C (ฟลานจ์ CF พร้อมปุ่มโลหะ)

• ตัวเลือกพอร์ต:เครื่องลวดล้อมทั้งหมด สามารถหมุนได้ ติดตั้ง หรือผสมผสาน

การใช้งาน

• เครื่องระบายอากาศ:เครือข่ายกระจายหลายท่าเรือสําหรับการสูบและระบายอากาศ

• ส่งเครื่องมือ:การเชื่อมเครื่องวัดแรงดัน RGA และเครื่องวัดไอออน

• เส้นทางการนําก๊าซเข้า:การนําก๊าซกระบวนการเข้าไปในห้องฝัง

• การฝากผนังบาง:ระบบกระจาย, การระเหยและ ALD

• การตรวจพบการรั่วไหลของฮีเลียมสร้างสาขา T สําหรับการเชื่อมต่อท่าทดสอบ

• เครื่องมือวิเคราะห์:เครื่องวัดสเปคตรเมตรมวล เครื่องกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอน เครื่องมือวิเคราะห์ผิว

• อุปกรณ์ครึ่งตัวนํา:โหลดภาระ, ห้องโอนและโมดูลกระบวนการ

• R&D ระบบสูบ:การจัดตั้งการทดลองแบบยืดหยุ่นที่ต้องการจุดเข้าหลายจุด

ทําไมต้องเลือกเทีย์ของเรา สําหรับระบบดูดฝุ่น?

เรารวมการโกหกแม่นยํา การแปรรูป CNC และการปั่นออร์บิตัล เพื่อส่งผลิตเทียวสูบที่ตอบสนอง หรือเกินมาตรฐานระดับสากลทําความสะอาด ultrasonic ด้วยยาซักผ้าประเภท semiconductor, และกระเป๋าสองในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด. การลด tees (กว้างสาขาที่แตกต่างกัน), การตั้งทิศทางท่าเรือที่กําหนดเอง, และความยาวพิเศษมีให้พร้อมด้วยการสนับสนุนด้านวิศวกรรม.