Tee cho hệ thống chân không: Phân nhánh linh hoạt với tính toàn vẹn không thỏa hiệp

Mô tả sản phẩm

Tee cho hệ thống chân khônglà các phụ kiện nhánh chính xác được thiết kế để phân chia hoặc kết hợp các đường dẫn khí trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn chân không từ mức chân không thô đến mức chân không cực cao (UHV). Không giống như các ống nối ống nước tiêu chuẩn, các bộ phận được đánh giá bằng chân không này có hình dạng bên trong mịn, thể tích bị kẹt tối thiểu và bề mặt được hoàn thiện ở cấp độ chân không để loại bỏ rò rỉ ảo và giảm lượng khí thoát ra ngoài.

Được sản xuất từ ​​​​thép không gỉ có hàm lượng carbon thấp (304L hoặc 316L), những ống nối này rất cần thiết cho các ống góp chân không, cổng thiết bị, đường dẫn khí và mạng lưới bơm. Mỗi tee được chế tạo với sự chú ý nghiêm ngặt đến chất lượng mối hàn, tình trạng bề mặt bên trong và sự căn chỉnh mặt bích trên cả ba cổng. Cho dù bạn đang bổ sung đồng hồ đo áp suất, kết nối máy phân tích khí dư (RGA) hay xây dựng hệ thống phân phối khí phức tạp, những ống nối này đều mang lại độ dẫn điện và độ tin cậy mà các ứng dụng UHV và chân không cao yêu cầu.

Các tính năng và đặc điểm chính

• Cấu hình:Tee ba cổng thực sự (đi thẳng với nhánh vuông góc)

• Định hướng chi nhánh:Vuông góc (90°) với trục chính (có sẵn các góc tùy chỉnh)

• Phạm vi chân không:Khí quyển tới 1×10⁻⁹ Torr (tương thích với UHV)

• Tiêu chuẩn mặt bích:Cấu hình ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) hoặc tùy chỉnh

• Vật liệu:Thép không gỉ 304L/316L (độ thấm từ thấp)

• Hoàn thiện bề mặt bên trong:Ra ≤ 0,8 µm (đánh bóng bằng điện hoặc đánh bóng cơ học)

• Tỷ lệ thoát khí:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (sau khi hút bụi)

• Tính toàn vẹn của rò rỉ:Đã kiểm tra rò rỉ khí heli ở mức < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Khả năng nướng:Lên đến 400°C (mặt bích CF có vòng đệm kim loại)

• Tùy chọn cổng:Tất cả các cấu hình mặt bích có thể xoay, cố định hoặc hỗn hợp

Ứng dụng

• Đa tạp chân không:Mạng lưới phân phối đa cổng để bơm và thông gió

• Cổng thiết bị:Kết nối đồng hồ đo áp suất, RGA và đồng hồ đo ion

• Đường dẫn khí:Tiếp nhận khí quá trình vào buồng lắng đọng

• Lắng đọng màng mỏng:Hệ thống phún xạ, bay hơi và ALD

• Phát hiện rò rỉ khí Heli:Tạo nhánh T cho kết nối cổng thử nghiệm

• Dụng cụ phân tích:Máy quang phổ khối, kính hiển vi điện tử, dụng cụ phân tích bề mặt

• Thiết bị bán dẫn:Khóa tải, buồng chuyển và mô-đun xử lý

• Hệ thống chân không R & D:Thiết lập thử nghiệm linh hoạt yêu cầu nhiều điểm truy cập

Tại sao nên chọn áo phông của chúng tôi cho hệ thống chân không?

Chúng tôi kết hợp rèn chính xác, gia công CNC và hàn quỹ đạo để cung cấp các ống chân không đáp ứng hoặc vượt tiêu chuẩn chân không sạch quốc tế. Mỗi tee đều được kiểm tra rò rỉ khí heli, làm sạch bằng siêu âm bằng chất tẩy rửa cấp bán dẫn và đóng gói hai lần trong môi trường phòng sạch. Giảm tees (đường kính nhánh khác nhau), hướng cổng tùy chỉnh và độ dài đặc biệt có sẵn với sự hỗ trợ kỹ thuật.