سه راهی برای سیستم خلاء: انشعاب همه کاره با یکپارچگی بدون نقص

توضیحات محصول

سه راهی برای سیستم خلاءاتصالات انشعاب دقیقی هستند که برای تقسیم یا ترکیب مسیرهای جریان گاز و در عین حال حفظ یکپارچگی خلاء از خلاء خشن تا سطوح خلاء فوق‌العاده بالا (UHV) طراحی شده‌اند. برخلاف تی‌های لوله‌کشی استاندارد، این قطعات دارای رتبه خلاء دارای هندسه‌های داخلی صاف، حداقل حجم محبوس‌شده، و پوشش سطحی با درجه خلاء هستند تا نشت‌های مجازی را از بین ببرند و گازهای خروجی را کاهش دهند.

این سه راهی ها که از فولاد ضد زنگ کم کربن (304 یا 316 لیتر) ساخته شده اند برای منیفولدهای خلاء، پورت های ابزار دقیق، خطوط ورود گاز و شبکه های پمپاژ ضروری هستند. هر سه راهی با توجه دقیق به کیفیت جوش، وضعیت سطح داخلی و تراز فلنج در هر سه پورت ساخته شده است. چه در حال اضافه کردن یک گیج فشار، اتصال یک آنالایزر گاز باقیمانده (RGA)، یا ساخت یک سیستم توزیع گاز پیچیده باشید، این سه راهی ها رسانایی و قابلیت اطمینانی را ارائه می دهند که نیاز به کاربردهای با خلاء بالا و UHV دارند.

ویژگی ها و ویژگی های کلیدی

• پیکربندی:سه درگاهی واقعی (مستقیم با انشعاب عمود بر هم)

• جهت گیری شاخه:عمود بر محور اصلی (90 درجه) (زوایای سفارشی موجود)

• محدوده خلاء:اتمسفر تا 1×10-4 Torr (سازگار با UHV)

• استانداردهای فلنج:ISO-KF، ISO-K، CF (ConFlat)، یا تنظیمات سفارشی

• مواد:فولاد ضد زنگ 304L / 316L (نفوذپذیری مغناطیسی کم)

• فینیش سطح داخلی:Ra ≤ 0.8 میکرومتر (الکتروپلی شده یا پرداخت مکانیکی)

• نرخ خروج گاز:<2×10-8 Torr·L/s·cm² (پس از تمیز کردن با جاروبرقی)

• یکپارچگی نشت:نشت هلیوم کمتر از 1×10-4 mbar·L/s آزمایش شد

• قابلیت Bakeout:تا 400 درجه سانتی گراد (فلنج های CF با مهر و موم فلزی)

• گزینه های بندر:تمام فلنج ها با پیکربندی قابل چرخش، ثابت یا ترکیبی

برنامه های کاربردی

• منیفولدهای خلاء:شبکه های توزیع چند پورت برای پمپاژ و هواگیری

• پورت های ابزار دقیق:اتصال گیج های فشار، RGA و یون سنج ها

• خطوط معرفی گاز:ورود گازهای فرآیند به اتاق‌های رسوب‌گذاری

• رسوب لایه نازک:سیستم های کندوپاش، تبخیر و ALD

• تشخیص نشت هلیوم:ایجاد شاخه های T برای اتصالات پورت آزمایشی

• ابزارهای تحلیلی:طیف سنج جرمی، میکروسکوپ الکترونی، ابزار تجزیه و تحلیل سطح

• تجهیزات نیمه هادی:قفل ها، محفظه های انتقال و ماژول های فرآیند را بارگیری کنید

• سیستم های خلاء تحقیق و توسعه:تنظیمات آزمایشی انعطاف پذیر که به چندین نقطه دسترسی نیاز دارند

چرا سه راهی های خود را برای سیستم های خلاء انتخاب می کنیم؟

ما آهنگری دقیق، ماشینکاری CNC و جوش مداری را برای ارائه سه راهی خلاء که مطابق با استانداردهای بین المللی خلاء تمیز یا فراتر از آن است، ترکیب می کنیم. هر سه راهی تست نشت هلیوم است، با مواد شوینده نیمه هادی به صورت اولتراسونیک تمیز می شود و در محیط تمیز اتاق دو کیسه ای قرار می گیرد. سه راهی های کاهش دهنده (قطر شاخه های مختلف)، جهت های پورت سفارشی و طول های ویژه با پشتیبانی مهندسی در دسترس هستند.