المحملات لنظام التفريغ: تفرع متعدد الاستخدامات بنزاهة لا تقبل المساومة

وصف المنتج

المحملات لنظام فراغعبارة عن تركيبات فرعية دقيقة مصممة لتقسيم أو دمج مسارات تدفق الغاز مع الحفاظ على سلامة الفراغ من مستويات الفراغ الخشن إلى مستويات الفراغ العالي جدًا (UHV). على عكس وصلات السباكة القياسية، تتميز هذه المكونات ذات التصنيف الفراغي بهندسة داخلية سلسة، وأحجام صغيرة محاصرة، وتشطيبات سطحية من فئة الفراغ للقضاء على التسربات الافتراضية وتقليل إطلاق الغازات.

يتم تصنيع هذه المحملات من الفولاذ المقاوم للصدأ منخفض الكربون (304L أو 316L)، وهي ضرورية لمشعبات التفريغ، ومنافذ الأجهزة، وخطوط إدخال الغاز، وشبكات الضخ. يتم تصنيع كل نقطة الإنطلاق مع الاهتمام الصارم بجودة اللحام وحالة السطح الداخلي ومحاذاة الحافة عبر جميع المنافذ الثلاثة. سواء كنت تقوم بإضافة مقياس ضغط، أو توصيل محلل الغاز المتبقي (RGA)، أو إنشاء نظام توزيع غاز معقد، فإن هذه المحملات توفر التوصيل والموثوقية التي تتطلبها تطبيقات الفراغ العالي والتطبيقات ذات الجهد العالي العالي.

الميزات والخصائص الرئيسية

• إعدادات:نقطة الإنطلاق الحقيقية ثلاثية المنافذ (مباشرة مع فرع عمودي)

• اتجاه الفرع:عمودي (90 درجة) على المحور الرئيسي (الزوايا المخصصة متاحة)

• نطاق الفراغ:الغلاف الجوي إلى 1×10⁻⁹ تور (متوافق مع UHV)

• معايير شفة:ISO-KF، أو ISO-K، أو CF (ConFlat)، أو التكوينات المخصصة

• مادة:الفولاذ المقاوم للصدأ 304L / 316L (نفاذية مغناطيسية منخفضة)

• الانتهاء من السطح الداخلي:Ra ≥ 0.8 ميكرومتر (مصقول كهربائيًا أو ميكانيكيًا)

• معدل إطلاق الغازات:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (بعد التنظيف بالمكنسة الكهربائية)

• تسرب النزاهة:تم اختبار تسرب الهيليوم إلى أقل من 1×10⁻⁹ ملي بار·لتر/ثانية

• القدرة على الخبز:حتى 400 درجة مئوية (فلنجات CF ذات أختام معدنية)

• خيارات المنفذ:جميع الفلنجات قابلة للدوران أو ثابتة أو مختلطة

التطبيقات

• مشعبات الفراغ:شبكات توزيع متعددة المنافذ للضخ والتهوية

• منافذ الأجهزة:توصيل أجهزة قياس الضغط، وRGAs، وأجهزة قياس الأيونات

• خطوط إدخال الغاز:إدخال غازات العملية إلى غرف الترسيب

• ترسيب الأغشية الرقيقة:أنظمة الاخرق والتبخر وALD

• كشف تسرب الهيليوم:إنشاء فروع T لاتصالات منفذ الاختبار

• الأدوات التحليلية:مطياف الكتلة، المجاهر الإلكترونية، أدوات التحليل السطحي

• معدات أشباه الموصلات:أقفال التحميل، وغرف النقل، ووحدات المعالجة

• أنظمة فراغ البحث والتطوير:إعدادات تجريبية مرنة تتطلب نقاط وصول متعددة

لماذا تختار المحملات الخاصة بنا لأنظمة التفريغ؟

نحن نجمع بين التطريق الدقيق، والتصنيع باستخدام الحاسب الآلي، واللحام المداري لتقديم وصلات فراغية تلبي أو تتجاوز معايير الفراغ النظيف الدولية. يتم اختبار تسرب الهيليوم في كل تيشيرت، ويتم تنظيفها بالموجات فوق الصوتية باستخدام منظفات من فئة أشباه الموصلات، ويتم تعبئتها في كيس مزدوج في بيئة غرفة نظيفة. تتوفر المحملات المخفضة (قطر الفرع المختلف)، واتجاهات المنافذ المخصصة، والأطوال الخاصة مع الدعم الهندسي.