T-stukken voor vacuümsysteem: veelzijdige vertakking met compromisloze integriteit

Productbeschrijving

T-stukken voor vacuümsysteemzijn precisieaftakkingsfittingen die zijn ontworpen om gasstroompaden te splitsen of te combineren, terwijl de vacuümintegriteit behouden blijft, van ruw vacuüm tot ultrahoog vacuüm (UHV). In tegenstelling tot standaard sanitaire T-stukken zijn deze componenten met vacuümclassificatie voorzien van gladde interne geometrieën, minimale ingesloten volumes en oppervlakteafwerkingen van vacuümkwaliteit om virtuele lekken te elimineren en ontgassing te verminderen.

Deze T-stukken zijn vervaardigd uit koolstofarm roestvrij staal (304L of 316L) en zijn essentieel voor vacuümspruitstukken, instrumentatiepoorten, gasinvoerleidingen en pompnetwerken. Elk T-stuk wordt vervaardigd met strikte aandacht voor de laskwaliteit, de toestand van het interne oppervlak en de uitlijning van de flens over alle drie de poorten. Of u nu een manometer toevoegt, een restgasanalysator (RGA) aansluit of een complex gasdistributiesysteem bouwt, deze T-stukken leveren de geleiding en betrouwbaarheid die veeleisende hoogvacuüm- en UHV-toepassingen vereisen.

Belangrijkste kenmerken en kenmerken

• Configuratie:Echt driepoorts T-stuk (rechtdoor met loodrechte aftakking)

• Filiaaloriëntatie:Loodrecht (90°) op de hoofdas (aangepaste hoeken beschikbaar)

• Vacuümbereik:Atmosferisch tot 1×10⁻⁹ Torr (UHV-compatibel)

• Flensnormen:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) of aangepaste configuraties

• Materiaal:304L / 316L roestvrij staal (lage magnetische permeabiliteit)

• Interne oppervlakteafwerking:Ra ≤ 0,8 µm (elektrolytisch gepolijst of mechanisch gepolijst)

• Uitgassingstarief:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (na stofzuigen)

• Lekkage-integriteit:Heliumlek getest tot < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Bakeout-mogelijkheid:Tot 400°C (CF-flenzen met metalen afdichtingen)

• Poortopties:Alle flenzen draaibaar, vast of gemengd

Toepassingen

• Vacuümspruitstukken:Distributienetwerken met meerdere poorten voor pompen en ontluchten

• Instrumentatiepoorten:Manometers, RGA's en ionenmeters aansluiten

• Gasinvoerlijnen:Toelaten van procesgassen in depositiekamers

• Dunnefilmafzetting:Sputter-, verdampings- en ALD-systemen

• Heliumlekdetectie:T-takken maken voor testpoortverbindingen

• Analytische instrumenten:Massaspectrometers, elektronenmicroscopen, hulpmiddelen voor oppervlakteanalyse

• Halfgeleiderapparatuur:Laadsluizen, overdrachtskamers en procesmodules

• R&D vacuümsystemen:Flexibele experimentele opstellingen waarvoor meerdere toegangspunten nodig zijn

Waarom kiezen voor onze T-stukken voor vacuümsystemen?

We combineren precisiesmeedwerk, CNC-bewerking en orbitaal lassen om vacuüm-T-stukken te leveren die voldoen aan de internationale normen voor schoon vacuüm of deze zelfs overtreffen. Elk T-stuk wordt getest op heliumlekken, ultrasoon gereinigd met halfgeleiderreinigingsmiddelen en in een dubbele zak verpakt in een cleanroomomgeving. Reducerende T-stukken (verschillende takdiameters), aangepaste poortoriëntaties en speciale lengtes zijn verkrijgbaar met technische ondersteuning.