Тройники для вакуумной системы: универсальное разветвление с бескомпромиссной целостностью

Описание продукта

Тройники для вакуумной системыпредставляют собой прецизионные ответвительные фитинги, предназначенные для разделения или объединения путей потока газа, сохраняя при этом целостность вакуума от уровня грубого вакуума до сверхвысокого вакуума (СВВ). В отличие от стандартных сантехнических тройников, эти компоненты, рассчитанные на вакуум, имеют гладкую внутреннюю геометрию, минимальные захваченные объемы и обработку поверхности, подходящую для вакуума, для устранения виртуальных утечек и уменьшения газовыделения.

Эти тройники, изготовленные из низкоуглеродистой нержавеющей стали (304L или 316L), незаменимы для вакуумных коллекторов, контрольно-измерительных портов, линий подачи газа и насосных сетей. Каждый тройник изготавливается с особым вниманием к качеству сварных швов, состоянию внутренней поверхности и выравниванию фланцев по всем трем портам. Независимо от того, добавляете ли вы манометр, подключаете анализатор остаточных газов (RGA) или строите сложную систему газораспределения, эти тройники обеспечивают проводимость и надежность, необходимые для требовательных приложений с высоким вакуумом и сверхвысоким напряжением.

Ключевые особенности и характеристики

• Конфигурация:Настоящий тройник с тремя портами (проходной с перпендикулярным ответвлением)

• Ориентация филиала:Перпендикулярно (90°) к главной оси (доступны нестандартные углы)

• Диапазон вакуума:Атмосферное до 1×10⁻⁹ Торр (совместимо со сверхвысоким напряжением)

• Стандарты фланцев:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) или пользовательские конфигурации

• Материал:Нержавеющая сталь 304L/316L (низкая магнитная проницаемость)

• Отделка внутренней поверхности:Ra ≤ 0,8 мкм (электрополировка или механическая полировка)

• Скорость дегазации:< 2×10⁻⁸ Торр·л/с·см² (после очистки пылесосом)

• Целостность утечки:Утечка гелия проверена на давление < 1×10⁻⁹ мбар·л/с.

• Возможность запекания:До 400°C (фланцы CF с металлическими уплотнениями)

• Параметры порта:Все фланцы поворотной, фиксированной или смешанной конфигурации.

Приложения

• Вакуумные коллекторы:Многопортовые распределительные сети для перекачки и вентиляции

• Инструментальные порты:Подключение манометров, RGA и ионных датчиков

• Линии подачи газа:Подача технологических газов в камеры осаждения

• Тонкопленочное осаждение:Системы напыления, испарения и ALD

• Обнаружение утечек гелия:Создание Т-образных ответвлений для подключений тестовых портов

• Аналитические инструменты:Масс-спектрометры, электронные микроскопы, инструменты анализа поверхности

• Полупроводниковое оборудование:Загрузочные шлюзы, передаточные камеры и технологические модули

• НИОКР вакуумных систем:Гибкие экспериментальные установки, требующие нескольких точек доступа

Почему стоит выбрать наши тройники для вакуумных систем?

Мы сочетаем прецизионную ковку, обработку на станках с ЧПУ и орбитальную сварку для производства вакуумных тройников, которые соответствуют международным стандартам чистого вакуума или превосходят их. Каждый тройник проверяется на герметичность гелием, подвергается ультразвуковой очистке с использованием моющих средств полупроводникового класса и упаковывается в двойной пакет в условиях чистого помещения. При технической поддержке доступны переходные тройники (разные диаметры ответвлений), нестандартная ориентация портов и специальные длины.