KF Tees برای سیستم خلاء: شاخه بندی متنوع با راحتی سریع فلنج

توضیحات محصول

تی های KF برای سیستم خلاءیک فلنج سریع سه پورت است که برای تقسیم، ترکیب یا هدایت جریان گاز در حالی که حفظ یکپارچگی خلاء بالا از فشار اتمسفر تا 10-8 Torr طراحی شده است. همچنین به عنوان NW tees شناخته می شود،این اجزای دارای یک خط اصلی مستقیم با یک پورت شاخه عمودی هستند، هندسه های داخلی صاف و اتصال KF (Klein Flansch / Quick Flange) در هر سه پورت.

از فولاد ضد زنگ 304 یا 316L با کیفیت بالا ساخته شده است، تی های KF برای انبوه کننده های خلاء، پورت های ابزار، خطوط ورودی گاز و شبکه های پمپ ضروری هستند.هر تی شامل سیستم اتصال KF استاندارد بین المللی است، که از یک حلقه مرکزی، حلقه O استالستومر و کلیمپ بادمجان بال برای مونتاژ سریع و بدون ابزار استفاده می کند.یا ساخت یک مرکز توزیع گاز، این تی ها رسانایی، انعطاف پذیری و قابلیت اطمینان را ارائه می دهند که برنامه های مورد نیاز با خلاء بالا نیاز دارند.

ویژگی های اصلی و ویژگی های

• پیکربندی:تی سه بندر واقعی (در راست با شاخه عمودی)

• نوع اتصال:فلنج های KF (NW) در هر سه بندر

• اندازه پورت:تمام پورت های اندازه یکسان، یا کاهش tees با قطر مخلوط

• محدوده خلاء:اتمسفر تا 1×10−8 تور

• ماده:فولاد ضد زنگ 304 یا 316L

• پوشش سطح داخلی:Ra ≤ 0.8 μm (برقی یا مکانیکی)

• میزان گازهای خارج شده:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (پس از تمیز کردن خلاء)

• صداقت نشت:نشت هلیوم با اندازه < 1 × 10−9 mbar·L/s

• ظرفیت پخت:تا 150°C (با حلقه های Viton® O)

• مجموعه:قفل کردن بدون ابزار با قفل های KF و حلقه های مرکز

• جهت گیری شعبه:90° عمودی به محور اصلی (استانداردی)

درخواست ها

• دسته بندی های خلاء:شبکه های توزیع چند بندر برای پمپ و تهویه

• پورت های ابزار:اتصال فشار سنجها، RGA ها و یون سنجها

• خطوط ورودی گاز:ورود گازهای فرعی به اتاق های رسوب

• رسوب فیلم نازک:اسپتر کردن، تبخیر و لوله کشی سیستم ALD

• تشخیص نشت هلیوم:ایجاد شاخه های T برای اتصالات پورت تست

• ابزار تحلیلی:طیف سنج های توده ای، میکروسکوپ های الکترونی، ابزار تجزیه و تحلیل سطح

• تجهیزات نیمه هادی:قفل های بارگیری، اتاق های انتقال و ماژول های فرآیند

• سیستم های خلاء تحقیق و توسعه:تنظیمات تجربی انعطاف پذیر که نیاز به چندین نقطه دسترسی دارند

• سیستم های خط مقدم:شاخه بندی بین پمپ های پشتیبان و پمپ های خلاء بالا

چرا تی های KF ما را برای سیستم های خلاء انتخاب می کنیم؟

ما ترکیبی از شکل گیری دقیق، ماشینکاری CNC و جوش مداری را برای تولید تی های KF که با استانداردهای بین المللی خلاء بالا مطابقت دارند یا از آن فراتر می روند، تولید می کنیم.پاکسازی فوق صوتی با مواد شوینده نیمه هادی، و در محیط اتاق تمیز دو تکه شده است. کاهش تی (قطر شاخه های مختلف) ، جهت گیری های سفارشی پورت و ابعاد ویژه مرکز تا فلنج با پشتیبانی مهندسی در دسترس است.