Тройники KF для вакуумной системы: универсальное разветвление с удобством быстрого фланца

Описание продукта

Тройники KF для вакуумной системыпредставляют собой трехходовые быстрофланцевые фитинги, предназначенные для разделения, объединения или перенаправления потока газа, сохраняя при этом целостность высокого вакуума от атмосферного давления до 10⁻⁸ Торр. Эти компоненты, также известные как тройники NW, имеют сквозную магистраль с перпендикулярным ответвленным портом, гладкую внутреннюю геометрию и соединения KF (Klein Flansch / Quick Flange) на всех трех портах.

Тройники KF, изготовленные из высококачественной нержавеющей стали 304 или 316L, незаменимы для вакуумных коллекторов, портов КИП, линий подачи газа и насосных сетей. Каждый тройник включает в себя стандартизированную по международному стандарту систему соединений KF, в которой используются центрирующее кольцо, эластомерное уплотнительное кольцо и зажим барашковой гайки для быстрой сборки без инструментов. Независимо от того, добавляете ли вы манометр, подключаете анализатор остаточных газов (RGA) или строите газораспределительный узел, эти тройники обеспечивают проводимость, гибкость и надежность, необходимые для требовательных приложений с высоким вакуумом.

Ключевые особенности и характеристики

• Конфигурация:Настоящий тройник с тремя портами (проходной с перпендикулярным ответвлением)

• Тип подключения:Фланцы KF (NW) на всех трех портах

• Размеры порта:Все порты одинакового размера или переходные тройники разного диаметра.

• Диапазон вакуума:Атмосферное до 1×10⁻⁸ Торр

• Материал:Нержавеющая сталь 304 или 316L

• Отделка внутренней поверхности:Ra ≤ 0,8 мкм (электрополировка или механическая полировка)

• Скорость дегазации:< 2×10⁻⁸ Торр·л/с·см² (после очистки пылесосом)

• Целостность утечки:Утечка гелия проверена на давление < 1×10⁻⁹ мбар·л/с.

• Возможность запекания:До 150°C (с уплотнительными кольцами Viton®)

• Сборка:Зажим без инструментов с помощью зажимов KF и центрирующих колец.

• Ориентация филиала:90° перпендикулярно главной оси (стандартно)

Приложения

• Вакуумные коллекторы:Многопортовые распределительные сети для перекачки и вентиляции

• Инструментальные порты:Подключение манометров, RGA и ионных датчиков

• Линии подачи газа:Подача технологических газов в камеры осаждения

• Тонкопленочное осаждение:Напыление, испарение и сантехника системы ALD

• Обнаружение утечек гелия:Создание Т-образных ответвлений для подключений тестовых портов

• Аналитические инструменты:Масс-спектрометры, электронные микроскопы, инструменты анализа поверхности

• Полупроводниковое оборудование:Загрузочные шлюзы, передаточные камеры и технологические модули

• НИОКР вакуумных систем:Гибкие экспериментальные установки, требующие нескольких точек доступа

• Форвагинальные системы:Разветвление между форвакуумными насосами и высоковакуумными насосами

Почему стоит выбрать наши тройники KF для вакуумных систем?

Мы сочетаем прецизионную формовку, обработку на станках с ЧПУ и орбитальную сварку, чтобы поставлять тройники KF, которые соответствуют международным стандартам высокого вакуума или превосходят их. Каждый тройник проверяется на герметичность гелием, подвергается ультразвуковой очистке с использованием моющих средств полупроводникового класса и упаковывается в двойной пакет в условиях чистого помещения. Переходные тройники (различные диаметры ответвлений), нестандартная ориентация портов и специальные размеры расстояния от центра до фланца доступны при технической поддержке.