|
Λεπτομέρειες:
|
| Επιφάνεια: | BA ή Blasting | Δοκιμές: | Αυτός διαρρέει |
|---|---|---|---|
| Επισημαίνω: | 316L αμοιβαία σχήματα,304 ανισόμετρα,Σύστημα κενού άνιση tee |
||
![]()
![]()
![]()
![]()
![]()
ΚΦ για σύστημα κενούείναι εξαρτήματα με γρήγορη φλάνσα τριών θύρων που έχουν σχεδιαστεί για να διαχωρίζουν, να συνδυάζουν ή να ανακατευθύνουν τη ροή αερίου διατηρώντας την ακεραιότητα υψηλού κενού από την ατμοσφαιρική πίεση έως 10-8 Torr.τα στοιχεία αυτά διαθέτουν ευθεία κύρια γραμμή με κάθετη θύρα υποκαταστήματος, ομαλή εσωτερική γεωμετρία και συνδέσεις KF (Klein Flansch / Quick Flange) σε όλες τις τρεις πύλες.
Κατασκευασμένα από υψηλής ποιότητας ανοξείδωτο χάλυβα 304 ή 316L, τα τεύχη KF είναι απαραίτητα για συλλογές κενού, θύρες οργάνων, γραμμές εισαγωγής αερίου και δίκτυα αντλίας.Κάθε tee ενσωματώνει το διεθνώς τυποποιημένο σύστημα σύνδεσης KF, το οποίο χρησιμοποιεί ένα δαχτυλίδι κέντρωσης, ελαστομερές δαχτυλίδι O, και φτερό νάτσο σφιγκτήρα για ταχεία, χωρίς εργαλεία συναρμολόγηση.ή κατασκευή κόμβου διανομής αερίου, οι συσκευές αυτές προσφέρουν την αγωγιμότητα, την ευελιξία και την αξιοπιστία που απαιτούν οι απαιτητικές εφαρμογές υψηλού κενού.
Διαμόρφωση:Αληθινή τρισδιάστατη γωνία (καθαρή με κατακόρυφο κλαδί)
Τύπος σύνδεσης:Φλάνσες KF (NW) και στους τρεις λιμένες
Μέγεθος θύρα:Όλες οι πύλες του ίδιου μεγέθους ή μειωτικές πύλες με μικτές διαμέτρους
Περιοχή κενού:Ατμοσφαιρική σε 1×10−8 Torr
Υλικό:Ατσάλι ατσάλινο 304 ή 316L
Εσωτερική επιφάνεια:Ra ≤ 0,8 μm (ηλεκτροφωτισμένα ή μηχανικά φωτισμένα)
Ποσοστό εξάτμισης αερίων:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (μετά τον καθαρισμό με ηλεκτρική σκούπα)
Ακεραιότητα διαρροής:Δοκιμασμένη διαρροή ήλίου σε < 1×10−9 mbar·L/s
Δυνατότητα ψήσιμου:Μέχρι 150°C (με Viton® O-ring)
Συγκρότηση:Χωρίς εργαλεία σφίξιμο με σφραγίδες KF και δαχτυλίδια κέντρωσης
Προσανατολισμός του τμήματος:90° κάθετα προς τον κύριο άξονα (πρότυπο)
Μετρητές κενού:Δίκτυα διανομής πολλαπλών λιμένων για αντλία και εξαερισμό
Πύλες οργάνωσης:Σύνδεση μετρητών πίεσης, RGA και μετρητών ιόντων
Αγωγές εισαγωγής αερίου:Εισαγωγή αερίων διεργασίας σε θαλάμους αποθέσεων
Αποθέματα λεπτής ταινίας:Σπυττάρισμα, εξάτμιση και υδραυλικές εγκαταστάσεις συστήματος ALD
Ανίχνευση διαρροής ηλίου:Δημιουργία T-κλαδων για συνδέσεις δοκιμαστικής θύρας
Αναλυτικά όργαναΦασματόμετρα μάζας, ηλεκτρονικά μικροσκόπια, εργαλεία ανάλυσης επιφάνειας
Εξοπλισμός ημιαγωγών:Κλειδώματα φορτίου, θάλαμοι μεταφοράς και μονάδες επεξεργασίας
Συστήματα κενού Ε&Α:Ευέλικτες πειραματικές ρυθμίσεις που απαιτούν πολλαπλά σημεία πρόσβασης
Συστήματα προώθησης:Διάκλαση μεταξύ αντλιών υποστήριξης και αντλιών υψηλού κενού
Συνδυάζουμε το σχηματισμό με ακρίβεια, την επεξεργασία CNC, και την τροχιακή συγκόλληση για να παραδώσουμε ελαστικά KF που πληρούν ή ξεπερνούν τα διεθνή πρότυπα υψηλού κενού.με υπερηχογραφικό καθαρισμό με απορρυπαντικά της κατηγορίας των ημιαγωγώνΤα μειωτικά τζάμια (διαφορετικές διαμέτρους κλαδιών), οι προσαρμοσμένοι προσανατολισμοί λιμένων και οι ειδικές διαστάσεις από το κέντρο έως το φλάντζο είναι διαθέσιμα με υποστήριξη μηχανικής.
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Mr. Edison yang
Τηλ.:: 13218150898