KF-T-Stücke für Vakuumsysteme: Vielseitige Abzweigung mit Schnellflansch-Komfort

Produktbeschreibung

KF-T-Stücke für Vakuumsystemsind Schnellflanschanschlüsse mit drei Anschlüssen, die dazu dienen, den Gasstrom zu teilen, zu vereinen oder umzuleiten und gleichzeitig die Hochvakuumintegrität vom atmosphärischen Druck bis hinunter zu 10⁻⁸ Torr aufrechtzuerhalten. Diese auch als NW-T-Stücke bekannten Komponenten verfügen über eine gerade Hauptleitung mit einem senkrechten Abzweiganschluss, glatte Innengeometrien und KF-Anschlüsse (Klein Flansch / Quick Flange) an allen drei Anschlüssen.

KF-T-Stücke werden aus hochwertigem Edelstahl 304 oder 316L hergestellt und sind unverzichtbar für Vakuumverteiler, Instrumentierungsanschlüsse, Gaseinleitungsleitungen und Pumpnetzwerke. Jedes T-Stück verfügt über das international standardisierte KF-Verbindungssystem, das einen Zentrierring, einen Elastomer-O-Ring und eine Flügelmutterklemme für eine schnelle, werkzeuglose Montage verwendet. Ganz gleich, ob Sie ein Manometer hinzufügen, einen Restgasanalysator (RGA) anschließen oder einen Gasverteilungsknoten aufbauen, diese T-Stücke bieten die Leitfähigkeit, Flexibilität und Zuverlässigkeit, die anspruchsvolle Hochvakuumanwendungen erfordern.

Hauptmerkmale und Eigenschaften

• Konfiguration:Echtes T-Stück mit drei Anschlüssen (gerade mit senkrechtem Abzweig)

• Verbindungstyp:KF-Flansche (NW) an allen drei Anschlüssen

• Portgrößen:Alle Anschlüsse gleich groß oder Reduzier-T-Stücke mit unterschiedlichen Durchmessern

• Vakuumbereich:Atmosphärisch bis 1×10⁻⁸ Torr

• Material:Edelstahl 304 oder 316L

• Interne Oberflächenbeschaffenheit:Ra ≤ 0,8 µm (elektropoliert oder mechanisch poliert)

• Ausgasungsrate:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (nach Staubsaugen)

• Leckintegrität:Heliumleck getestet auf < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Ausheizfähigkeit:Bis 150°C (mit Viton® O-Ringen)

• Montage:Werkzeugloses Spannen mit KF-Klemmen und Zentrierringen

• Branchenorientierung:90° senkrecht zur Hauptachse (Standard)

Anwendungen

• Vakuumverteiler:Verteilernetze mit mehreren Anschlüssen zum Pumpen und Entlüften

• Instrumentierungsanschlüsse:Anschluss von Druckmessgeräten, RGAs und Ionenmessgeräten

• Gaseinleitungsleitungen:Einleiten von Prozessgasen in Abscheidungskammern

• Dünnschichtabscheidung:Sputtern, Verdampfen und ALD-Systeminstallation

• Erkennung von Heliumlecks:Erstellen von T-Abzweigen für Testport-Verbindungen

• Analysegeräte:Massenspektrometer, Elektronenmikroskope, Oberflächenanalysegeräte

• Halbleiterausrüstung:Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodule

• F&E-Vakuumsysteme:Flexible Versuchsaufbauten, die mehrere Zugangspunkte erfordern

• Vorleitungssysteme:Verzweigung zwischen Vorpumpen und Hochvakuumpumpen

Warum sollten Sie sich für unsere KF-T-Stücke für Vakuumsysteme entscheiden?

Wir kombinieren Präzisionsformung, CNC-Bearbeitung und Orbitalschweißen, um KF-T-Stücke zu liefern, die internationale Hochvakuumstandards erfüllen oder übertreffen. Jedes T-Stück wird auf Heliumlecks getestet, mit Ultraschallreinigungsmitteln in Halbleiterqualität gereinigt und in einer Reinraumumgebung doppelt verpackt. Mit technischer Unterstützung sind Reduzier-T-Stücke (verschiedene Abzweigdurchmesser), kundenspezifische Anschlussausrichtungen und spezielle Mitte-Flansch-Abmessungen erhältlich.