진공 시스템용 90° 엘보우: 높은 컨덕턴스 및 낮은 가스 방출

제품 설명

진공 시스템용 90° 엘보거친 진공에서 초고진공(UHV) 수준까지 시스템 무결성을 유지하면서 가스 흐름의 방향을 바꾸도록 설계된 정밀 엔지니어링 피팅입니다. 표준 배관 엘보우와 달리 이러한 진공 등급 구성 요소는 부드러운 내부 반경, 최소한의 갇힌 부피 및 진공 등급 표면 마감을 특징으로 하여 가상 누출을 방지하고 가스 방출을 줄입니다.

저탄소 스테인리스강(304L 또는 316L)으로 제조된 이 엘보는 진공 챔버, 펌핑 라인, 분석 장비 및 반도체 장비에 매우 중요합니다. 각 90° 엘보는 용접 품질, 내부 표면 상태 및 플랜지 정렬에 엄격한 주의를 기울여 제작됩니다. 새로운 진공 매니폴드를 구축하든, 증착 시스템을 수정하든, 누출 감지 스테이션을 수리하든 이 엘보는 까다로운 진공 응용 분야에 필요한 전도성과 신뢰성을 제공합니다.

주요 특징 및 특징

• 굽힘 각도:90도(맞춤 각도도 가능)

• 굴곡 반경:긴 반경(1.5× DN) 또는 짧은 반경(1.0× DN)

• 진공 범위:대기 ~ 1×10⁻⁹ Torr(UHV 호환)

• 플랜지 표준:ISO-KF, ISO-K, CF(ConFlat) 또는 맞춤형 구성

• 재료:304L / 316L 스테인레스 스틸 (낮은 투자율)

• 내부 표면 마감:Ra ≤ 0.8 µm (전해연마 또는 기계연마)

• 가스 방출 속도:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (진공 청소 후)

• 누출 무결성:헬륨 누출 테스트를 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s로 테스트함

• 베이크아웃 기능:최대 400°C(금속 씰이 있는 CF 플랜지)

• 사이:회전식 및 고정 플랜지 옵션 모두

응용

• 진공 펌핑 라인:포어라인 또는 챔버 포트에 터보 펌프 연결

• 박막 증착:스퍼터링, 증발 및 ALD 시스템

• 헬륨 누출 감지:테스트 포트와 감지기 간의 흐름 리디렉션

• 분석 장비:질량 분석기, 전자 현미경, 표면 분석 도구

• 반도체 장비:로드락, 이송 챔버 및 프로세스 모듈

• R&D 진공 매니폴드:복잡한 다중 포트 배열

• 우주 시뮬레이션:열진공 챔버 배관

진공 시스템용으로 당사의 90° 엘보우를 선택하는 이유는 무엇입니까?

우리는 CNC 제어 튜브 벤딩과 궤도 용접 및 전해연마를 결합하여 국제 청정 진공 표준을 충족하거나 초과하는 진공 엘보우를 제공합니다. 모든 팔꿈치는 헬륨 누출 테스트를 거쳤고, 반도체 등급 세제로 초음파 세척되었으며, 클린룸 환경에서 이중 포장되었습니다. 엔지니어링 지원을 통해 맞춤형 굽힘 반경, 비표준 플랜지 방향 및 특수 길이를 사용할 수 있습니다.