90° Ellenbogen für Vakuumsysteme: Hohe Leitfähigkeit und geringe Ausgasung

Beschreibung des Produkts

90° Ellenbogen für Vakuumsystemesind präzise konstruierte Armaturen, die den Gasfluss umleiten und gleichzeitig die Systemintegrität vom Rohvakuum bis zum Ultra-Hochvakuum (UHV) aufrechterhalten.Diese Vakuumkomponenten weisen glatte Innenradien auf., minimale eingeschlossene Volumina und Vakuum-Grade Oberflächenveredelungen, um virtuelle Lecks zu verhindern und Abgasemissionen zu reduzieren.

Diese Ellenbogen sind aus kohlenstoffarmem Edelstahl (304L oder 316L) hergestellt und sind für Vakuumkammern, Pumpleitungen, Analyseinstrumente und Halbleitergeräte von entscheidender Bedeutung.Jeder 90°-Elbogen wird mit strenger Aufmerksamkeit auf die Schweißqualität gefertigtOb Sie einen neuen Vakuumspülkörper bauen, ein Ablagerungssystem modifizieren oder eine Leckdetektionsstation reparieren,Diese Ellenbogen liefern die Leitfähigkeit und Zuverlässigkeit, die anspruchsvolle Vakuumanwendungen erfordern..

Hauptmerkmale und Merkmale

• Biegwinkel:90 Grad (auch benutzerdefinierte Winkel verfügbar)

• Biegeradius:Langer Radius (1,5 × DN) oder kurzer Radius (1,0 × DN)

• Vakuumbereich:Atmosphärisch bis 1×10−9 Torr (UHV-kompatibel)

• Flanschnormen:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) oder benutzerdefinierte Konfigurationen

• Material:304L / 316L Edelstahl (niedrige magnetische Durchlässigkeit)

• Innenoberflächenveredelung:Ra ≤ 0,8 μm (elektropoleriert oder mechanisch poliert)

• Abgasquote:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (nach Vakuumreinigung)

• Leckintegrität:Heliumleckage mit einer Geschwindigkeit von < 1×10−9 mbar·L/s

• Bakeout-Fähigkeit:bis zu 400 °C (CF-Flanzen mit Metalldichtungen)

• Verbindungen:Sowohl drehbare als auch feste Flanschoptionen

Anwendungen

• Vakuumpumpen:Anschluss von Turbopumpen an Vorder- oder Kammeranschlüsse

• Feinschichtdeposition:Sputter-, Verdampfungs- und ALD-Systeme

• Heliumleckage nachweis:Umleitung des Stroms zwischen Prüfstellen und Detektoren

• Analyseinstrumente:Massenspektrometer, Elektronenmikroskope, Oberflächenanalysewerkzeuge

• Halbleitergeräte:Schleusen, Übertragungskammern und Prozessmodule

• F&E-Vakuumversorger:Komplexe Vereinbarungen über mehrere Häfen

• Raumsimulation:Wasserleitungen in Vakuumkammern

Warum wählen wir für Vakuumsysteme unsere 90°-Elbogen?

Wir kombinieren CNC-gesteuertes Rohrbiegen mit Orbitalschweißen und Elektropolieren, um Vakuumelle zu liefern, die die internationalen Standards für sauberes Vakuum erfüllen oder übertreffen.mit einer Breite von mehr als 20 mm,, und in einer Reinraumumgebung in Doppeltaschen verpackt.