زانوهای 90 درجه برای سیستم خلاء: رسانایی بالا و خروج گاز کم

توضیحات محصول

زانویی 90 درجه برای سیستم خلاءاتصالات مهندسی دقیقی هستند که برای تغییر جهت جریان گاز و در عین حال حفظ یکپارچگی سیستم از خلاء خشن به سطوح خلاء فوق‌العاده بالا (UHV) طراحی شده‌اند. بر خلاف زانوهای لوله کشی استاندارد، این قطعات دارای رتبه خلاء دارای شعاع داخلی صاف، حداقل حجم محبوس شده، و سطوح با درجه خلاء هستند تا از نشت مجازی جلوگیری کرده و گازهای خروجی را کاهش دهند.

این زانوها که از فولاد ضد زنگ کم کربن (304 یا 316 لیتر) ساخته شده اند، برای محفظه های خلاء، خطوط پمپاژ، ابزارهای تحلیلی و تجهیزات نیمه هادی حیاتی هستند. هر زانویی 90 درجه با توجه دقیق به کیفیت جوش، وضعیت سطح داخلی و تراز فلنج ساخته شده است. چه در حال ساخت یک منیفولد خلاء جدید باشید، چه سیستم رسوب گذاری را اصلاح کنید یا یک ایستگاه تشخیص نشت را تعمیر کنید، این زانوها رسانایی و قابلیت اطمینان مورد نیاز برنامه های کاربردی خلاء را ارائه می دهند.

ویژگی ها و ویژگی های کلیدی

• زاویه خم:90 درجه (زوایای سفارشی نیز موجود است)

• شعاع خمش:شعاع بلند (1.5× DN) یا شعاع کوتاه (1.0× DN)

• محدوده خلاء:اتمسفر تا 1×10-4 Torr (سازگار با UHV)

• استانداردهای فلنج:ISO-KF، ISO-K، CF (ConFlat)، یا تنظیمات سفارشی

• مواد:فولاد ضد زنگ 304L / 316L (نفوذپذیری مغناطیسی کم)

• فینیش سطح داخلی:Ra ≤ 0.8 میکرومتر (الکتروپلی شده یا پرداخت مکانیکی)

• نرخ خروج گاز:<2×10-8 Torr·L/s·cm² (پس از تمیز کردن با جاروبرقی)

• یکپارچگی نشت:نشت هلیوم کمتر از 1×10-4 mbar·L/s آزمایش شد

• قابلیت Bakeout:تا 400 درجه سانتی گراد (فلنج های CF با مهر و موم فلزی)

• اتصالات:هر دو گزینه فلنج قابل چرخش و ثابت

برنامه های کاربردی

• خطوط پمپاژ خلاء:اتصال پمپ های توربو به درگاه های پیشانی یا محفظه ای

• رسوب لایه نازک:سیستم های کندوپاش، تبخیر و ALD

• تشخیص نشت هلیوم:تغییر جهت جریان بین پورت های تست و آشکارسازها

• ابزارهای تحلیلی:طیف سنج جرمی، میکروسکوپ الکترونی، ابزار تجزیه و تحلیل سطح

• تجهیزات نیمه هادی:قفل ها، محفظه های انتقال و ماژول های فرآیند را بارگیری کنید

• منیفولدهای خلاء تحقیق و توسعه:ترتیبات پیچیده چند پورت

• شبیه سازی فضا:لوله کشی محفظه خلاء حرارتی

چرا آرنج های 90 درجه خود را برای سیستم های خلاء انتخاب کنیم؟

ما خم شدن لوله کنترل شده با CNC را با جوش مداری و پولیش الکتریکی ترکیب می کنیم تا زانوهای خلاء را ارائه دهیم که مطابق با استانداردهای بین المللی خلاء تمیز یا فراتر از آن باشد. هر زانویی نشت هلیوم مورد آزمایش قرار می گیرد، با مواد شوینده نیمه هادی به صورت اولتراسونیک تمیز می شود و در محیط تمیز اتاق دو کیسه ای قرار می گیرد. شعاع های خم سفارشی، جهت گیری های فلنج غیر استاندارد و طول های ویژه با پشتیبانی مهندسی در دسترس هستند.