90° 真空システムのための肘:高伝導性と低排出ガス

製品説明

バキュームシステムでは90°の肘精密設計のフィッティングで,ガスの流れを方向転換し,システム完整性を維持しながら,粗い真空から超高真空 (UHV) レベルまでこれらの真空評価部品は,平らな内部半径を持っています仮想漏れを防止し,排出量を減らすため,真空グレードの表面仕上げ.

低炭素ステンレス鋼 (304Lまたは316L) から製造されたこれらの肘は,真空室,ポンプライン,分析機器,半導体機器に不可欠です.各90°肘は,溶接品質に厳格な注意を払って製造されています新しい真空管を組み立てたり 堆積装置を改造したり 漏れ検知装置を修理する時要求する真空アプリケーションが必要とする導電性と信頼性を提供します.

主要 な 特徴 と 特徴

• 曲がり角:90度 (カスタム角度も利用可能)

• 曲がり半径:長半径 (1.5×DN) または短半径 (1.0×DN)

• バキューム範囲:1×10−9トール (UHV対応) に大気

• フレンズ規格:ISO-KF,ISO-K,CF (ConFlat) またはカスタム構成

• 材料:304L / 316L不?? 鋼 (低磁気浸透性)

• 内部表面の仕上げ:Ra ≤ 0.8 μm (電気磨きまたは機械磨き)

• 排気量:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (真空掃除後)

• 漏洩の完全性< 1×10−9 mbar·L/s で試験されたヘリウム漏れ

• 焼却能力:400°Cまで (金属シール付きCFフレンズ)

• 接続:回転式と固定式の両方

申請

• バキュームポンプライン:ターボポンプを前線または室内ポートに接続する

• 薄膜堆積物:スプッター,蒸発,ALDシステム

• ヘリウム漏れ検出試験ポートと検出器の間の流れをリダイレクト

• 分析装置:質量スペクトロメーター,電子顕微鏡,表面分析ツール

• 半導体機器:負荷ロック,転送室,およびプロセスモジュール

• R&D真空マニホールド:複合的な多港協定

• 宇宙シミュレーション熱真空室管道

なぜ 掃除 システム に は 90° の 肘 を 選ぶ の です か

私たちは,CNC制御管の折りたたみと 軌道溶接と電極磨きを組み合わせて, 国際的なクリーン真空基準を満たす,またはそれを上回る真空肘を製造します.半導体級洗剤で超音波で清掃されたカスタム曲がり半径,非標準的なフレンズ方向,および特殊な長さは,エンジニアリングサポートで利用できます.