ข้องอ 90° สำหรับระบบสุญญากาศ: ความนำไฟฟ้าสูงและการปล่อยก๊าซต่ำ

รายละเอียดสินค้า

ข้องอ 90° สำหรับระบบสุญญากาศเป็นข้อต่อที่ออกแบบอย่างแม่นยำซึ่งออกแบบมาเพื่อเปลี่ยนทิศทางการไหลของก๊าซในขณะที่ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของระบบตั้งแต่ระดับสุญญากาศหยาบไปจนถึงระดับสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) ต่างจากข้อศอกประปามาตรฐาน ส่วนประกอบที่ได้รับการจัดอันดับสุญญากาศเหล่านี้มีรัศมีภายในที่ราบรื่น ปริมาตรที่ติดอยู่น้อยที่สุด และพื้นผิวเกรดสุญญากาศเพื่อป้องกันการรั่วไหลเสมือนและลดการปล่อยก๊าซ

ข้องอเหล่านี้ผลิตจากสเตนเลสคาร์บอนต่ำ (304L หรือ 316L) มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อห้องสุญญากาศ สายสูบน้ำ เครื่องมือวิเคราะห์ และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ข้อศอก 90° แต่ละอันถูกสร้างขึ้นด้วยความใส่ใจอย่างเข้มงวดต่อคุณภาพการเชื่อม สภาพพื้นผิวภายใน และการจัดตำแหน่งหน้าแปลน ไม่ว่าคุณกำลังสร้างท่อร่วมสุญญากาศใหม่ ปรับเปลี่ยนระบบสะสม หรือซ่อมแซมสถานีตรวจจับการรั่วไหล ข้องอเหล่านี้มีความนำไฟฟ้าและความน่าเชื่อถือตามที่การใช้งานสุญญากาศที่ต้องการ

คุณสมบัติและลักษณะสำคัญ

• มุมโค้งงอ:90 องศา (มีมุมที่กำหนดเองให้เลือก)

• รัศมีโค้งงอ:รัศมียาว (1.5× DN) หรือรัศมีสั้น (1.0× DN)

• ช่วงสุญญากาศ:บรรยากาศถึง 1×10⁻⁹ Torr (รองรับ UHV)

• มาตรฐานหน้าแปลน:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) หรือการกำหนดค่าแบบกำหนดเอง

• วัสดุ:สแตนเลส 304L / 316L (การซึมผ่านของแม่เหล็กต่ำ)

• พื้นผิวภายในเสร็จสิ้น:Ra ≤ 0.8 µm (ขัดด้วยไฟฟ้าหรือขัดเงาด้วยกลไก)

• อัตราการปล่อยก๊าซออก:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (หลังทำความสะอาดด้วยเครื่องดูดฝุ่น)

• ความสมบูรณ์ของการรั่วไหล:การทดสอบการรั่วของฮีเลียมที่ < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• ความสามารถในการอบขนม:สูงถึง 400°C (หน้าแปลน CF พร้อมซีลโลหะ)

• การเชื่อมต่อ:ตัวเลือกหน้าแปลนทั้งแบบหมุนได้และแบบตายตัว

การใช้งาน

• สายปั๊มสุญญากาศ:การเชื่อมต่อปั๊มเทอร์โบเข้ากับพอร์ตหน้าหรือช่องห้อง

• การสะสมของฟิล์มบาง:ระบบสปัตเตอร์ การระเหย และระบบ ALD

• การตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียม:การเปลี่ยนเส้นทางการไหลระหว่างพอร์ตทดสอบและตัวตรวจจับ

• เครื่องมือวิเคราะห์:แมสสเปกโตรมิเตอร์ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน เครื่องมือวิเคราะห์พื้นผิว

• อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์:ตัวล็อคโหลด ห้องถ่ายโอน และโมดูลกระบวนการ

• ท่อร่วมสูญญากาศ R&D:การจัดการหลายพอร์ตที่ซับซ้อน

• การจำลองอวกาศ:ท่อประปาห้องสูญญากาศความร้อน

เหตุใดจึงเลือกข้องอ 90° ของเราสำหรับระบบสุญญากาศ

เราผสมผสานการดัดท่อที่ควบคุมด้วย CNC เข้ากับการเชื่อมแบบวงโคจรและการขัดเงาด้วยไฟฟ้า เพื่อให้ได้ข้องอสุญญากาศที่ตรงหรือเกินกว่ามาตรฐานเครื่องดูดฝุ่นสะอาดระดับสากล ข้อศอกทุกอันผ่านการทดสอบการรั่วของฮีเลียม ทำความสะอาดอัลตราโซนิกด้วยผงซักฟอกเกรดเซมิคอนดักเตอร์ และบรรจุถุงสองชั้นในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด รัศมีการโค้งงอแบบกำหนดเอง การวางแนวหน้าแปลนที่ไม่ได้มาตรฐาน และความยาวพิเศษพร้อมการสนับสนุนทางวิศวกรรม