مرفقان بزاوية 90 درجة لنظام التفريغ: توصيل عالي وإطلاق منخفض للغازات

وصف المنتج

أكواع 90 درجة لنظام الفراغعبارة عن تركيبات مصممة بدقة لإعادة توجيه تدفق الغاز مع الحفاظ على سلامة النظام من مستويات الفراغ الخشن إلى مستويات الفراغ العالي جدًا (UHV). على عكس أكواع السباكة القياسية، تتميز هذه المكونات ذات التصنيف الفراغي بنصف قطر داخلي سلس، والحد الأدنى من الأحجام المحاصرة، وتشطيبات سطحية من فئة الفراغ لمنع التسربات الافتراضية وتقليل إطلاق الغازات.

يتم تصنيع هذه الأكواع من الفولاذ المقاوم للصدأ منخفض الكربون (304L أو 316L)، وهي ضرورية للغرف المفرغة، وخطوط الضخ، والأدوات التحليلية، ومعدات أشباه الموصلات. يتم تصنيع كل كوع بزاوية 90 درجة مع الاهتمام الصارم بجودة اللحام وحالة السطح الداخلي ومحاذاة الحافة. سواء كنت تقوم ببناء مجمع فراغ جديد، أو تعديل نظام ترسيب، أو إصلاح محطة كشف التسرب، فإن هذه الأكواع توفر التوصيل والموثوقية التي تتطلبها تطبيقات الفراغ الصعبة.

الميزات والخصائص الرئيسية

• زاوية الانحناء:90 درجة (زوايا مخصصة متاحة أيضًا)

• نصف قطر الانحناء:نصف قطر طويل (1.5× DN) أو نصف قطر قصير (1.0× DN)

• نطاق الفراغ:الغلاف الجوي إلى 1×10⁻⁹ تور (متوافق مع UHV)

• معايير شفة:ISO-KF، أو ISO-K، أو CF (ConFlat)، أو التكوينات المخصصة

• مادة:الفولاذ المقاوم للصدأ 304L / 316L (نفاذية مغناطيسية منخفضة)

• الانتهاء من السطح الداخلي:Ra ≥ 0.8 ميكرومتر (مصقول كهربائيًا أو ميكانيكيًا)

• معدل إطلاق الغازات:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (بعد التنظيف بالمكنسة الكهربائية)

• تسرب النزاهة:تم اختبار تسرب الهيليوم إلى أقل من 1×10⁻⁹ ملي بار·لتر/ثانية

• القدرة على الخبز:حتى 400 درجة مئوية (فلنجات CF ذات أختام معدنية)

• اتصالات:كل من خيارات الحافة القابلة للتدوير والثابتة

التطبيقات

• خطوط ضخ الفراغ:توصيل المضخات التوربينية بمنافذ الخط الأمامي أو الغرفة

• ترسيب الأغشية الرقيقة:أنظمة الاخرق والتبخر وALD

• كشف تسرب الهيليوم:إعادة توجيه التدفق بين منافذ الاختبار وأجهزة الكشف

• الأدوات التحليلية:مطياف الكتلة، المجاهر الإلكترونية، أدوات التحليل السطحي

• معدات أشباه الموصلات:أقفال التحميل، وغرف النقل، ووحدات المعالجة

• مشعبات فراغ البحث والتطوير:ترتيبات معقدة متعددة المنافذ

• محاكاة الفضاء:سباكة غرفة الفراغ الحراري

لماذا تختار أكواعنا بزاوية 90 درجة لأنظمة التفريغ؟

نحن نجمع بين ثني الأنابيب التي يتم التحكم فيها باستخدام الحاسب الآلي (CNC) مع اللحام المداري والتلميع الكهربائي لتوفير أكواع مفرغة تفي بمعايير التفريغ النظيف الدولية أو تتجاوزها. تم اختبار تسرب الهيليوم في كل مرفق، وتنظيفه بالموجات فوق الصوتية باستخدام منظفات من فئة أشباه الموصلات، وتعبئته في كيس مزدوج في بيئة غرف الأبحاث. تتوفر أنصاف أقطار الانحناء المخصصة واتجاهات الحافة غير القياسية والأطوال الخاصة مع الدعم الهندسي.