90° αγκώνες για σύστημα κενού: Υψηλή αγωγιμότητα & χαμηλή εκκένωση αερίων

Περιγραφή προϊόντος

90° αγκώνες για σύστημα κενούείναι εξαρτήματα σχεδιασμένα με ακρίβεια σχεδιασμένα για να ανακατευθύνουν τη ροή του αερίου διατηρώντας παράλληλα την ακεραιότητα του συστήματος από το τραχύ κενό σε επίπεδα εξαιρετικά υψηλού κενού (UHV). Σε αντίθεση με τις τυπικές γωνίες υδραυλικών εγκαταστάσεων, αυτά τα εξαρτήματα με βαθμολογία κενού διαθέτουν ομαλές εσωτερικές ακτίνες, ελάχιστους εγκλωβισμένους όγκους και φινιρίσματα επιφανειών ποιότητας κενού για την αποφυγή εικονικών διαρροών και τη μείωση της εκροής αερίων.

Κατασκευασμένοι από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα (304L ή 316L), αυτοί οι αγκώνες είναι κρίσιμοι για θαλάμους κενού, γραμμές άντλησης, αναλυτικά όργανα και εξοπλισμό ημιαγωγών. Κάθε γωνία 90° κατασκευάζεται με αυστηρή προσοχή στην ποιότητα συγκόλλησης, την κατάσταση της εσωτερικής επιφάνειας και την ευθυγράμμιση της φλάντζας. Είτε κατασκευάζετε μια νέα πολλαπλή κενού, είτε τροποποιείτε ένα σύστημα εναπόθεσης είτε επισκευάζετε έναν σταθμό ανίχνευσης διαρροών, αυτοί οι γωνίες παρέχουν την αγωγιμότητα και την αξιοπιστία που απαιτούν οι απαιτητικές εφαρμογές κενού.

Βασικά Χαρακτηριστικά & Χαρακτηριστικά

• Γωνία κάμψης:90 μοίρες (προσαρμοσμένες γωνίες επίσης διαθέσιμες)

• Ακτίνα κάμψης:Μεγάλη ακτίνα (1,5× DN) ή μικρή ακτίνα (1,0× DN)

• Εύρος κενού:Ατμοσφαιρικό έως 1×10-4 Torr (συμβατό με UHV)

• Πρότυπα φλάντζας:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) ή προσαρμοσμένες διαμορφώσεις

• Υλικό:304L / 316L από ανοξείδωτο χάλυβα (χαμηλή μαγνητική διαπερατότητα)

• Φινίρισμα εσωτερικής επιφάνειας:Ra ≤ 0,8 µm (ηλεκτρογυαλισµένο ή µηχανικά γυαλισµένο)

• Ποσοστό εξαγωγής αερίων:< 2×10⁻8 Torr·L/s·cm² (μετά τον καθαρισμό με ηλεκτρική σκούπα)

• Ακεραιότητα διαρροής:Η διαρροή ηλίου δοκιμάστηκε σε < 1×10-4 mbar·L/s

• Δυνατότητα Bakeout:Έως 400°C (φλάντζες CF με μεταλλικές σφραγίδες)

• Συνδέσεις:Επιλογές περιστρεφόμενης και σταθερής φλάντζας

Εφαρμογές

• Γραμμές άντλησης κενού:Σύνδεση turbo αντλιών σε θύρες πρόσοψης ή θαλάμου

• Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης:Συστήματα διασκορπισμού, εξάτμισης και ALD

• Ανίχνευση διαρροής ηλίου:Ανακατεύθυνση ροής μεταξύ των δοκιμαστικών θυρών και των ανιχνευτών

• Αναλυτικά όργανα:Φασματόμετρα μάζας, ηλεκτρονικά μικροσκόπια, εργαλεία ανάλυσης επιφανειών

• Εξοπλισμός ημιαγωγών:Φορτώστε κλειδαριές, θαλάμους μεταφοράς και μονάδες διεργασίας

• Πολλαπλοί κενού Ε&Α:Σύνθετες ρυθμίσεις πολλαπλών λιμένων

• Προσομοίωση χώρου:Υδραυλικές εγκαταστάσεις θερμικού θαλάμου κενού

Γιατί να επιλέξετε τους αγκώνες 90° για συστήματα κενού;

Συνδυάζουμε την κάμψη σωλήνων ελεγχόμενη από CNC με την τροχιακή συγκόλληση και την ηλεκτροστίλβωση για την παροχή γωνιών κενού που πληρούν ή υπερβαίνουν τα διεθνή πρότυπα καθαρού κενού. Κάθε αγκώνα ελέγχεται για διαρροή ηλίου, καθαρίζεται με υπερήχους με απορρυπαντικά ποιότητας ημιαγωγών και τοποθετείται σε διπλή σακούλα σε περιβάλλον καθαρού δωματίου. Προσαρμοσμένες ακτίνες κάμψης, μη τυπικοί προσανατολισμοί φλάντζας και ειδικά μήκη διατίθενται με τεχνική υποστήριξη.