90°-ellebogen voor vacuümsysteem: hoge geleiding en lage uitgassing

Productbeschrijving

90° ellebogen voor vacuümsysteemzijn nauwkeurig ontworpen fittingen die zijn ontworpen om de gasstroom om te leiden en tegelijkertijd de systeemintegriteit te behouden van ruw vacuüm tot ultrahoog vacuüm (UHV). In tegenstelling tot standaard elleboogstukken zijn deze componenten met vacuümclassificatie voorzien van gladde interne radii, minimale opgesloten volumes en oppervlakteafwerkingen van vacuümkwaliteit om virtuele lekken te voorkomen en ontgassing te verminderen.

Deze ellebogen zijn vervaardigd uit koolstofarm roestvrij staal (304L of 316L) en zijn van cruciaal belang voor vacuümkamers, pompleidingen, analytische instrumenten en halfgeleiderapparatuur. Elke 90°-elleboog wordt vervaardigd met strikte aandacht voor de laskwaliteit, de toestand van het interne oppervlak en de uitlijning van de flens. Of u nu een nieuw vacuümspruitstuk bouwt, een depositiesysteem aanpast of een lekdetectiestation repareert, deze ellebogen leveren de geleiding en betrouwbaarheid die veeleisende vacuümtoepassingen vereisen.

Belangrijkste kenmerken en kenmerken

• Buighoek:90 graden (aangepaste hoeken ook beschikbaar)

• Buigradius:Lange straal (1,5× DN) of korte straal (1,0× DN)

• Vacuümbereik:Atmosferisch tot 1×10⁻⁹ Torr (UHV-compatibel)

• Flensnormen:ISO-KF, ISO-K, CF (ConFlat) of aangepaste configuraties

• Materiaal:304L / 316L roestvrij staal (lage magnetische permeabiliteit)

• Interne oppervlakteafwerking:Ra ≤ 0,8 µm (elektrolytisch gepolijst of mechanisch gepolijst)

• Uitgassingstarief:< 2×10⁻⁸ Torr·L/s·cm² (na stofzuigen)

• Lekkage-integriteit:Heliumlek getest tot < 1×10⁻⁹ mbar·L/s

• Bakeout-mogelijkheid:Tot 400°C (CF-flenzen met metalen afdichtingen)

• Aansluitingen:Zowel draaibare als vaste flensopties

Toepassingen

• Vacuümpomplijnen:Turbopompen aansluiten op voorlijn- of kamerpoorten

• Dunnefilmafzetting:Sputter-, verdampings- en ALD-systemen

• Heliumlekdetectie:Het omleiden van de stroom tussen testpoorten en detectoren

• Analytische instrumenten:Massaspectrometers, elektronenmicroscopen, hulpmiddelen voor oppervlakteanalyse

• Halfgeleiderapparatuur:Laadsluizen, overdrachtskamers en procesmodules

• R&D-vacuümspruitstukken:Complexe multi-port arrangementen

• Ruimtesimulatie:Thermische vacuümkamerleidingen

Waarom kiezen voor onze 90°-ellebogen voor vacuümsystemen?

We combineren CNC-gestuurd buisbuigen met orbitaal lassen en elektropolijsten om vacuümellebogen te leveren die voldoen aan de internationale normen voor schoon vacuüm of deze zelfs overtreffen. Elke elleboog wordt op heliumlekken getest, ultrasoon gereinigd met halfgeleiderreinigingsmiddelen en in een dubbele zak verpakt in een cleanroomomgeving. Aangepaste buigradii, niet-standaard flensoriëntaties en speciale lengtes zijn verkrijgbaar met technische ondersteuning.