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| ハイライト: | 研究室 アルミニウム室,CVD アルミニウム室,CVD アルミニウム真空室 |
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についてアルミニウム真空室低真空から中真空のアプリケーションのために設計された精密設計の囲いで 重量削減と熱管理が重要ですこの部屋は研究室で 卓越したパフォーマンスを発揮します薄膜堆積システム,漏れ検出,環境試験
不oxidable steelの代替品とは異なり,アルミニウム真空室は,適切な表面処理後に低排出率があるため,ポンプダウンサイクルがより速くなります.各ユニットは,厳格な溶接プロトコルを使用して製造され,真空の完全性を10−6 Torr (高真空範囲) まで確保するために硬いアンオード化または防腐層で仕上げられています.研究開発のための小さな立方体室や 産業用コーティングのための大きな円筒型容器が 必要であるにせよ,このソリューションは構造的信頼性と運用効率を組み合わせます.
材料:6061-T6 アルミ合金 (高強度,優れた加工可能性)
バキューム範囲:1×10−6 トール (高真空準備)
排気量:< 2×10−8 Torr·L/s·cm2 (清掃と焼後)
ポート設定:カスタマイズ可能なCF (ConFlat),KF (Quick Flange) またはISOフィッティング
表面塗装:ハード・アノジス (50 μm) または電解された内面
漏洩の完全性< 1×10−9 mbar·L/s で試験されたヘリウム漏れ
動作温度:-20°Cから150°C (使用されたシールによって異なります)
体重:比較可能なステンレス・チェンジャーより最大50%軽い
内部容量:オーダーメイド 0.5リットルから200リットル以上
薄膜堆積物:発射,電波蒸発,熱蒸発
分析装置:SEM/FIBサンプル準備室,質量スペクトロメトリ
漏れ検出:ヘリウム漏れ試験ステーション
研究開発ラボ:真空炉試験,材料の排気研究
アルミニウム の 真空 室 が より 効率 的 な の は なぜ です か
精密なCNC加工と TIG溶接を 認証された真空溶接者によって組み合わせます表面荒さの検証 (Ra ≤ 0)超高真空 (UHV) 要求では,真空焼きと金属密封フレンズ準備を提供しています.
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コンタクトパーソン: Mr. Edison yang
電話番号: 13218150898